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最終更新日:2010年10月01日

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セミバック株式会社より、「TCゲージ」のご案内です。

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基本情報

【仕様】 ○VGT-100M OPERATING CHARACTERISTICS ○ヒーター電流:min, 14.5mA DC ○ヒーター電流:max, 18.5mA DC ○測定範囲:0.1~1000μHg ○応答速度:0.1秒以下 ○ベース:JEDEC 8 FR ○適合品:バリアン,F2518001 FILTEC, TC-004 Thermionics, 6343/004 ○サーモカップル出力:@55 ohm load      :9.6mv at 0.1μHg ○ピンレイアウト Pins 1 & 7:ヒーター   3   :サーモカップル -   5   :サーモカップル + ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

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用途/実績例

半導体機械

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