ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物(シリコンウェハ等)を固定するために用いられます。
ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物(シリコンウェハ等)を固定するために用いられます。 本製品は30mm×1300mm×1300mmと薄くて大きな加工物ですが、上面全体の平面度公差が0.01~0.03mmと、非常に高い精度が求められています。
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基本情報
【特徴】 〇ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物(シリコンウェハ等)を固定するために用いられます。 〇本製品は30mm×1300mm×1300mmと薄くて大きな加工物ですが、上面全体の平面度公差が0.01~0.03mmと、非常に高い精度が求められています。 〇歪みがなく、尚且つ効率的に加工ができる 〇特に面積が大きい為、平面度を出す加工技術以外に、加工時・測定時の温度管理及び測定機器の精度が要求されます。 ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途/実績例
【用途】 〇二輪・四輪自動車の開発部品及びレース部品 〇半導体製造装置・液晶製造装置部品 〇航空機ジェットエンジンの開発部品 〇ロボット機構開発部品 〇医療機器部品 〇精密測定機器部品 〇試作削り出し品 〇真空ポンプ部品 〇掘削機部品 ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。
企業情報
業界トップレベルの加工技術、精度を誇っております。精密機械加工から大型機械加工まで、アルミ材から難削材まで、全ての金属機械加工が可能です。