多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローメータです
マイクロプロセッサ内蔵の高機能デジタルマスフローメータです。 【特長】 ○高分解能(16ビット)A/D、D/Aコンバーターの採用による高精度化 ○アラーム出力機能を標準装備 ○アラーム状態表示LEDを装備 ○オートゼロ機能装備 ○汎用デジタルインターフェースを装備 ○デバイス番号の設定が可能 ○従来品との電気的互換性を保持 ○コンパクトなボディサイズ ○メタルシールを採用 ○ボディ内部精密研磨を標準装備 ○各種ガスの流量測定 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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基本情報
○高分解能(16ビット)A/D、D/Aコンバーターの採用による高精度化 ○アラーム出力機能を標準装備 ○アラーム状態表示LEDを装備 ○オートゼロ機能装備 ○汎用デジタルインターフェースを装備 ○デバイス番号の設定が可能 ○従来品との電気的互換性を保持 ○コンパクトなボディサイズ ○メタルシールを採用 ○ボディ内部精密研磨を標準装備 ○各種ガスの流量測定
価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
~ 1ヶ月
用途/実績例
【用途】 ○高信頼性を要求されるMFCに直列に接続し、流量異常を監視 ○腐食性ガスの流量測定 ○リークテスタ ○燃焼用ガスの流量モニタ ○流量基準器
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リンテックは1987年の設立以来、定温度差制御流量センサ、DLI液体気化供給システム、強酸用流量センサなどの流体計測制御に関わる独自技術を開発、製品化してきました。 これらの製品は半導体製造のみならず、自動車、医療などあらゆる産業に利用されています。