気体、液体、圧力制御が可能な高速応答ピエゾコントロールバルブです
ビエゾコントロールバルブCV-3000シリーズは、外部からの制御入力により気体、液体の流量制御、あるいは圧力制御などが可能な高速応答バルブです。 制御方法として、オーブンループ式ならびにクローズドループ式が使用できます。 【特長】 ○積層圧電素子を用いたバルブの為、高速制御可能 ○高推力、高分解能バルブの為、微小流量、低圧力の精密制御可能 ○気体ならびに液体の流量制御および圧力制御可能 ○接続部は、金（Au）製メタルシールを採用しているので、 実質的にリークフリー ○パーティクルフリーの材質、構造設計 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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基本情報
○積層圧電素子を用いたバルブの為、高速制御可能 ○高推力、高分解能バルブの為、微小流量、低圧力の精密制御可能 ○気体ならびに液体の流量制御および圧力制御可能 ○接続部は、金（Au）製メタルシールを採用しているので、 実質的にリークフリー ○パーティクルフリーの材質、構造設計
価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
【用途】 ○オープンループ制御/外部からの電圧により、バルブの開度を調節 （流量の精密制御は困難） ○クローズドループ制御/マスフローメータと市販のPID制御器との 接続により、任意の流量に制御可能
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企業情報
リンテックは1987年の設立以来、定温度差制御流量センサ、DLI液体気化供給システム、強酸用流量センサなどの流体計測制御に関わる独自技術を開発、製品化してきました。 これらの製品は半導体製造のみならず、自動車、医療などあらゆる産業に利用されています。
