減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206
液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です。 【特長】 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 各種液体材料（TEOS、TEB、TEPO、etc）を精密流量制御する と同時に高効率で気化可能 ○ピエゾバルブ採用 ○常圧プロセスから減圧プロセスまで対応 ○最高160℃の加熱が可能 ○コンパクトなボディサイズ ○RoHS対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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基本情報
○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 各種液体材料（TEOS、TEB、TEPO、etc）を精密流量制御する と同時に高効率で気化可能 ○ピエゾバルブ採用 ○常圧プロセスから減圧プロセスまで対応 ○最高160℃の加熱が可能 ○コンパクトなボディサイズ ○RoHS対応
価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカーなどに幅広く納入されています。 SiO2やTiO2、H2Oその他、各種成膜用途に減圧常圧問わず、幅広く使用されております。
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企業情報
リンテックは1987年の設立以来、定温度差制御流量センサ、DLI液体気化供給システム、強酸用流量センサなどの流体計測制御に関わる独自技術を開発、製品化してきました。 これらの製品は半導体製造のみならず、自動車、医療などあらゆる産業に利用されています。