気化器の器壁に液体が接触する機会を減少し、効率よく気化が可能です
High-kや各種メタルなど、熱分解しやすい液体気化に適した気化器です 【特長】 ○液体を気化器の器壁（金属製）に接触する機会が少なく、 （軽接触）効率よく気化 ○アトマイザによる液滴化とブローガスによる微細化による 高効率気化 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 液体材料を精密流量制御し、効率良く気化（US PAT.5372754） ○熱分解し易い液体を低温にて気化する方式の気化器 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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基本情報
○液体を気化器の器壁（金属製）に接触する機会が少なく、 （軽接触）効率よく気化 ○アトマイザによる液滴化とブローガスによる微細化による 高効率気化 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 液体材料を精密流量制御し、効率良く気化（US PAT.5372754） ○熱分解し易い液体を低温にて気化する方式の気化器
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
【用途】 ○半導体製造プロセス用の各種液体の気化供給 ○CVD,酸化・拡散用途
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企業情報
リンテックは1987年の設立以来、定温度差制御流量センサ、DLI液体気化供給システム、強酸用流量センサなどの流体計測制御に関わる独自技術を開発、製品化してきました。 これらの製品は半導体製造のみならず、自動車、医療などあらゆる産業に利用されています。
