電子部品の焼成に最適。耐薬品性と均熱範囲を確保した画期的な加熱装置
真空中にもかかわらず、均熱に加熱する事ができます。
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基本情報
特殊ヒーターを用いる事によって、ヒーターからの出ガスが無くなり、クリーンな環境での加熱が可能です。 優れた温度管理能力を持ち、品温で450℃時に±2℃を実現。 また、ヒーター線を保護しておりますので、内部試料より発生したガスに腐食されにくい構造になっております。
価格情報
-
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
Ｓｉ基盤の表面改質や基板表面に付着した有機物などの不純物を除去する為に多く利用されております。
企業情報
酸素と水分を極限まで除いた環境での、実験や検査、生産を可能にします。 グローブボックスの専門メーカーとして、数多くの実績を積み、あらゆるアプリケーションのご提案、対応など可能です。 リチウムイオン電池やＨＩＤランプ、有機ＥＬパネルの研究開発及び生産ラインなどでもお使い頂いております。