軽量・コンパクト！1台から開発製造も可能！
空冷式の電源でありながら軽量コンパクトな設計（ハーフラックサイズ）を実現！ プラズマ用高周波電源（ＮＲ０３Ｎ−０１） ■□■特徴■□■ ■定格出力 NR03N-01：300W NR05N-01：500W ■周波数 13.56MHz ■出力インピーダンス 50〜52Ω ■電源電圧 200V 3相 50/60Hz ■スプリアス -40dB 以下 ■冷却方式 強制空冷 ■詳細は、お問い合わせ下さい。
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基本情報
空冷式の電源でありながら軽量コンパクトな設計（ハーフラックサイズ）を実現！ プラズマ用高周波電源（ＮＲ０３Ｎ−０１） ■□■特徴■□■ ■定格出力 NR03N-01：300W NR05N-01：500W ■周波数 13.56MHz ■出力インピーダンス 50〜52Ω ■電源電圧 200V 3相 50/60Hz ■スプリアス -40dB 以下 ■冷却方式 強制空冷 ■詳細は、お問い合わせ下さい。
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企業情報
RFテクノロジーズは、高周波電源がプラズマプロセスに使われ始めた頃より「実証研究」「素材開発」「表面改質」「半導体製造」「FPD製造」「太陽電池」など・・・高周波関連の開発・設計に携わって参りました。幸いにも、学術研究関係の方々や、世界最先端の技術水準を行く大手半導体製造設備メーカーの方々とも技術提携・技術交流の機会に恵まれ、装置メーカーが対処すべき領域と、電源メーカーが解決すべき領域が複双し合う事象にはお互いの技術のすり合わせがあって初めて解決できた事も数多く体験して参りました。
