酸、有機系供給の流量制御用。200℃までの高温対応オールフッ素樹脂製フローメータです！
Futurestar社製フローメーターは200℃までの高温流体対応オールフッ素樹脂製フローメーターです。 洗浄装置、薬液供給装置などの酸、有機系供給の流量制御、表示に使用されております。 昨今、要求が増加している高温プロセス対応のものや、小流量（75cc/min. H2O）から大流量（75 L/min.H2O）までの豊富な取り揃えで、お客様のニーズに最適なフローメーターを提供致します。オプションにて、流量のアナログ出力、接点出力が可能です。 ◆フローレンジ：0-10ｍl/min〜6000ml/min(MAX) ◆オリフィスバルブ：高リニアリティ特性 ◆使用材質：PTFE、PFA、CTFE(Wetted Parts) ◆最高使用薬液温度：200℃ ◆最高使用圧力：0.59Mpa(100psi) ◆オプション：アナログ、接点出力。この他にも多数種類を取り扱っております。 詳しくはお問い合わせください。
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基本情報
【特徴】 ○200℃までの高温対応オールフッ素樹脂製フローメータ ○小流量(75cc/min H2O)から大流量(75l/min H2O)まで 豊富に取り揃え ○オプションにて流量のアナログ出力、接点出力が可能 ○Futurstsr社ではオールフッ素樹脂製ループフローコントローラ、 ホイール式流量計、オリフィスバルブ、エアライン用逆支弁も ご用意 ●詳しくはお問い合わせください。
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用途／実績例
【用途】 ○洗浄装置、薬液供給装置などの酸、有機系供給の流量制御、表示 ○ループフローコントローラはカルマン渦流量計と超音波流量計の 2種からご選択頂けます。 ●詳しくはお問い合わせください。
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企業情報
半導体製造装置、検査装置、半導体製造装置用コンポーネントの国内外への販売、技術サポート、デバイス製造におけるコストダウンを提供する技術商社です。
