プロセス制御機器の製品一覧
- 分類:プロセス制御機器
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移動距離数十ミリ程度の位置決めに適したボイスコイル型リニアモータ(VCM)を高速移動と超精密位置決め用に開発しました。
- 電子ビーム描画装置
- サーボ
- トルク制御
移動距離数十ミリ程度の位置決めに適したリニアモータを高速移動と超精密位置決め用に開発しました。パワーアンプ部はリニアアンプを採用
- その他安全機器
- サーボ
- トルク制御
赤外光ガスセンサー(二酸化炭素・一酸化炭素・メタン・へキサン・亜酸化窒素)
- その他プロセス制御
- その他環境機器