環境機器の製品一覧
- 分類：環境機器
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- その他搬送機械
2024/4/10（水）～2024/4/12（金）名古屋 ものづくり ワールド 2024出展のご案内
三和式ベンチレーター株式会社は、ポートメッセなごやで開催される 2024ものつくりワールド（名古屋）に出店いたします。 弊社も大型冷風機、涼暖ビエントの展示をおこないます。 日時：2024/4/10～2024/4/12 開場：AM10:00~ 場所：名古屋ポートメッセ（第１展示会場） ※弊社ブース：19-1 お時間が御座いましたら、ご来場頂ければ幸いです。
プラズマエッチャーチラー『ThermoRack1201/1801』
『ThermoRack1201/1801』は、素早い温度応答性と±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、1個のデバイスに 不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 詳しくは、下記の関連製品ページまたはPDF資料をご覧ください。
原料が自然界にも存在する酸素なので、薬剤を使わず安心、安全に使用できる。
- オゾン発生装置
- 換気・排気
- 空気清浄機
原料が酸素なので、薬剤の備蓄、投入などの手間がかからずコストを下げることができます。
- オゾン発生装置
- 換気・排気
- 空気清浄機
原料が酸素なので、薬剤の備蓄、投入などの手間がかからずコストを下げることができます。
- オゾン発生装置
- 換気・排気
- 空気清浄機
