環境機器の製品一覧
- 分類：環境機器
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電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました
- 電池・バッテリー
- 技術書・参考書
- 技術書・参考書
循環ポンプと電源仕様の選択、さらに各種オプションの装備により、多様なレーザー装置のアプリケーションにフレキシブルに対応できます。
- 冷却装置
循環ポンプと電源仕様の選択、さらに各種オプションの装備により、多種多様なアプリケーションにフレキシブルに対応できます。
- 冷却装置
漏れ検査で使用したヘリウムを高い回収率で再利用！100％輸入に依存する天然希少資源をリサイクルすることでSDGsの取り組みに貢献
- ガス回収/処理装置
消費電力大幅削減ペルチェチラー『TCubeEdge』
冷却能力最大290Wの『TCubeEdge』は優れた温度信頼性で機器のパフォーマンスを 最適化し、高い採算性をもたらします。 循環水の温度変化に素早く応答し、0℃～65℃の温度コントロールにおいて 室温付近でさえも±0.05℃の再現性を実現。 スムーズなフローを実現するCentrifugalポンプは動作時の振動がなく、レーザー、 光学、分析装置の様々なアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応可能です。 詳しくは、下記の関連製品ページまたはPDF資料をご覧ください。
消費電力大幅削減！ペルチェチラー『ThermoRack1801』
『ThermoRack1801』は、素早い温度応答性と±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は7つのペルチェデバイスで構成され、1個のデバイスに 不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 詳しくは、下記の関連製品ページまたはPDF資料をご覧ください。
フロン対策はお済みですか?『ThermoRack1201』
『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきを改善。 主要エッチャーメーカーの製品に対応。 温度制御部は7つのペルチェデバイスで構成され、1個のデバイスに 不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 詳しくは、下記の関連製品ページまたはPDF資料をご覧ください。
フロン対策はお済みですか？ペルチェチラー『ThermoCube』
冷却能力200W、300W、400W、600Wの『ThermoCube』は、ささやきのような静粛性・ 低振動で、室温付近でさえも±0.05℃温度制度を維持します。 コアとなる電子温調モジュールは20万時間を越える寿命をもち、世界中の電源に 対応のユニバーサル電源を搭載。 オプションを多数用意しており、様々なカスタマイズが容易なデザインとなっています。 フロンガス不使用で環境に配慮したチラーです。 詳しくは、下記の関連製品ページまたはPDF資料をご覧ください。
フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適！消費電力最大60％削減！騒音・振動も防止！
- チラー
フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適！消費電力最大60％削減！騒音・振動も防止！
- チラー
フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適！消費電力最大60％削減！騒音・振動も防止！
- チラー
入口湿度やパージ時間、年間電力代など！吸着式ドライヤー各種の消費電気量の比較例をご紹介。使用量に合わせた比較資料の作成も受付中。
- 除湿装置
- 加熱装置
- 冷却装置
