研磨材の製品一覧
- 分類：研磨材
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！
- その他搬送機械
【技術情報】CMP研磨パッドの溝加工 2
前回、研磨パッド表面の溝加工によってスラリーの拡散が変わることをご説明しました。 溝によるスラリーの拡散効果を可視的に検証した事例をご紹介します。 半導体用などでデファクトスタンダートとなっている研磨パッド「IC1000」に異なる溝加工を6種類サンプルとして準備。 ・Circular Groove(同心円溝) ・Perforated Groove(貫通穴溝) ・Radial Groove(放射溝) ・Spiral Groove(螺旋溝) ・XY Groove(XY溝) ・Acr Groove(円弧溝) 青色に着色した液体を同条件下で滴下すると、溝加工によって液体の拡散が異なることがよく分かります。同心円溝や螺旋溝はスラリーの保持性が高く、放射溝や円弧溝はスラリーの排出性が優れることが確認できます。 このように同じ研磨パッドでも溝加工によってスラリーの拡散が異なり、ウェーハなどワークに介入するスラリーの作用に影響しますので、溝加工の選定は大変重要です。 当社ではお客様でのプロセス条件やターゲットを考慮して、溝加工の選定のお手伝いもさせて頂きますので、ぜひご相談下さい。
【技術情報】CMP研磨パッドの溝加工 2
前回、研磨パッド表面の溝加工によってスラリーの拡散が変わることをご説明しました。 溝によるスラリーの拡散効果を可視的に検証した事例をご紹介します。 半導体用などでデファクトスタンダートとなっている研磨パッド「IC1000」に異なる溝加工を6種類サンプルとして準備。 ・Circular Groove(同心円溝) ・Perforated Groove(貫通穴溝) ・Radial Groove(放射溝) ・Spiral Groove(螺旋溝) ・XY Groove(XY溝) ・Acr Groove(円弧溝) 青色に着色した液体を同条件下で滴下すると、溝加工によって液体の拡散が異なることがよく分かります。同心円溝や螺旋溝はスラリーの保持性が高く、放射溝や円弧溝はスラリーの排出性が優れることが確認できます。 このように同じ研磨パッドでも溝加工によってスラリーの拡散が異なり、ウェーハなどワークに介入するスラリーの作用に影響しますので、溝加工の選定は大変重要です。 当社ではお客様でのプロセス条件やターゲットを考慮して、溝加工の選定のお手伝いもさせて頂きますので、ぜひご相談下さい。
ミニタージェット2 （コントローラーUC230 ハンドピースMJ13） 高性能マイクログラインダー 浦和工業
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UG42A トルクタイプハンドピース（モーターハンドピース一体型.）浦和工業
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UG43A スピードタイプハンドピース（モーターハンドピース一体型.）浦和工業
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UM20A トルクタイプモーター（回転数1000～8000） 浦和工業
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UM21A トルクタイプモーター（回転数1000～15000） 浦和工業
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UM23A トルクタイプモーター（回転数1000～30000） 浦和工業
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UM12A スタンダードモーター（回転数1000～20000） 浦和工業
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UM13A スタンダードモーター（回転数1000～35000） 浦和工業
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UM1A スタンダードモーター（回転数2000～45000） 浦和工業
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UM05A ハイスピードタイプモーター（回転数2000～55000） 浦和工業
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UA13A ロータリーハンドピース（一体型）無付加回転速度3500～35000rpm 浦和工業
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UA12A ロータリーハンドピース（一体型）無付加回転速度2000～20000rpm 浦和工業
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UA14A ロータリーハンドピース（一体型）無付加回転速度4500～45000rpm 浦和工業
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UM201 ロータリーハンディ UMタイプ（着脱型）ヘッドとモーターの組み合わせ ロースピードタイプ 浦和工業
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UM211 ロータリーハンディ UMタイプ（着脱型）ヘッドとモーターの組み合わせ トルクタイプ 浦和工業
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UM231 ロータリーハンディ UMタイプ（着脱型）ヘッドとモーターの組み合わせ スピードタイプ 浦和工業
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UM20 ロータリーハンディ UMタイプ（着脱型）モーターのみ 低速トルクタイプ800～8000ｒｐｍ 浦和工業
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UM21 ロータリーハンディ UMタイプ（着脱型）モーターのみ トルクタイプ1500～15000ｒｐｍ 浦和工業
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UM23 ロータリーハンディ UMタイプ（着脱型）モーターのみ スピードタイプ3000～30000ｒｐｍ 浦和工業
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UM215 アングルハンディ90 UMタイプ（着脱型）ヘット部UT05とモーター部UM21の組み合わせ 浦和工業
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UM216 アングルハンディ90 UMタイプ（パワー型）ヘット部UT06とモーター部UM21の組み合わせ 浦和工業
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UM217 アングルハンディ120UMタイプ先端部角度120°パワー型ヘット部UT07とモーター部UM21の組み合わせ浦和工業
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UM208 スイングハンディ左右に振動するペンシルタイプヘット部UT08とモーター部UM20の組み合わせ 800～8000
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RE55 レシプロハンディ-前後に振動するピストルグリップ型、電動ヤスリ）スピードタイプ 振動数700～7，000往復 浦和工業
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BS33 ベルトハンディ-（バリ取り、面取りに使いやすいミニベルトサンダー） ベルトスピード 毎分77.7～777m 浦和工業
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BS1-100-1-2-3 別売りベルトアーム（バリ取り、面取りに使いやすいミニベルトサンダー用） 浦和工業
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UC550 パワーコントローラ（モーター駆動電源部）ハイブリッドコントローラー 浦和工業
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