真空機器の製品一覧
- 分類:真空機器
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- 真空機器
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- 技術書・参考書

小型スパッタリング装置を新製品に追加しました
実験用の小型スパッタリング装置です。 メインポンプはターボ分子ポンプを使用しています。 スパッタリングを行う成膜室と、成膜後に取り出す部屋をゲートバルブで仕切っています。基盤をセット後、真空中で自動搬送します。 ターゲットは3種まで取付可能です。基板は自動回転機構で、設定した順にターゲットの下に移動し、成膜します。