真空機器の製品一覧

  • 分類:真空機器

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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!

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  • その他搬送機械

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100万回繰り返しても壊れない!確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

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省電力・メンテナンスフリー!クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ

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無料進呈中!日本機械学会賞・優秀製品賞受賞製品 ARJ型ロータリブロワ資料

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1.機器設計に基づいた分解調査 2.熟練の技術スタッフが完備された整備工場で作業を実施 3.出荷前に検査を実施し検査成績書を提出

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  • 真空機器

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メカニカルシールやドライガスシールなど様々な軸封での実績多数!

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ホームページリニューアル!創業122年 ドライ真空ポンプ・ロータリブロワといえば宇野澤組鐵工所

弊社は真空ポンプ、ブロワの専業メーカーとして優れた製品を世に送り出して参りました。 昨今急速に高まった「持続可能な開発目標(SDGs)」に対しても、40年以上も前から、環境負荷の少ないドライ真空ポンプ(ルーツ式内装多段式としては世界初)を開発しており、日本国内外問わず多数の納入実績がございます。 長年にわたり蓄積したノウハウを生かし、 時代のニーズに応える製品開発を行い、お客様のご要望と信頼に応えるべく、最適な製品をこれからもご提案して参ります。 

省電力・メンテナンスフリー!クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ    

  • 真空ポンプ

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ベルト駆動で、広範な用途に適応!SRH型水封式真空ポンプ・複合排気システム

  • 真空ポンプ

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凝縮性ガスの吸引に好適!ケミカルプロセス用の汎用ドライ真空ポンプ

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組み合わせにより高真空及び大風量の仕様にも対応可能!化学プラント向けの汎用ドライ真空ポンプ

  • 真空ポンプ

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装置メーカーへの導入実績多数!押出成形機用のドライ真空ポンプ

  • 真空ポンプ

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省電力・メンテナンスフリー!クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ

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酸性・アルカリ性の高腐食性ガスの吸引に。厚膜フッ素樹脂コーティング(200μm)採用。独自の立形構造により凝縮液の回収を容易に。

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腐食性ガスの吸引でお困りではございませんか?厚膜フッ素樹脂コーティング真空ポンプで問題を解決致します。

ケミカルプロセスに適した立形ドライ真空ポンプ「TRV シリーズ」のラインナップに厚膜フッ素樹脂コーティングが加わりました。 ステンレスでは対応出来ない酸性・アルカリ性の高腐食性ガスを吸引するハードプロセスにも対応いたします。 独自の立形構造は、ガス流路が上部から下部へ流れるように配置されており、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下で容易に排出・回収することができます。 また設置面積が小さいため、装置への組み込みにも適しています。   【特長】 ■200μ m の厚膜フッ素樹脂コーティングに対応 ■大気圧から締切運転まで安定した運転が可能 ■120°Cまでの高温ガスの吸引が可能 ■メカニカルブースターとの組み合わせにより幅広い真空域に対応 ■電動機は防爆対応も可能 基本情報 【フッ素樹脂コーティングの仕様】 種類:PFA (帯電防止) コーティング厚さ:200μm ※ピンホールレス相当品となります 特性:耐薬品性、非粘着性、撥水・撥油性 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

「定期保守・メンテナンス」「修理・リニューアル」「診断・点検」 等、様々なご要望にお応えします。 お気軽にご相談下さい。 

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  • 真空機器

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最高レベルの長寿命性。極高真空下(10-8Pa以下 )にてアウトガスが発生しにくいグリス(グリース)です。

  • その他半導体製造装置
  • 真空機器

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ホームページにて真空設備用グリースの製品情報を公開しました

半導体製造装置向け「LOGENEST LAMBDA(ロゲネストラムダ)」シリーズの製品紹介ページとなります。 ご覧いただけますと幸いです。

水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適な 水封式真空ポンプ

  • その他ポンプ
  • 真空ポンプ

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定期メンテナンスは6年に一度のロングライフを実現!トータルコストの低減を追求した、空冷式ドライ真空ポンプ!

  • その他実験器具・容器
  • その他ポンプ
  • 真空ポンプ

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あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ!プロセス性能に特化

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  • その他

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ウエハー・FPDの大口径化に対応する大排気量ポンプ

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  • その他

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世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現!あらゆる製造装置に組み込みが可能

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  • その他

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- 省エネ「だけじゃない」 - 軽負荷からエッチングまで幅広い用途で使用可能

  • 真空ポンプ
  • 真空機器

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エッチングなどのミディアムプロセスにおいて世界NO.1の低消費電力を実現! 新しい外観デザインでNewリリース

  • 真空ポンプ

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プロセス耐性に優れたドライ真空ポンプ! 新しい外観デザインでNewリリース

  • 真空ポンプ

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メンテナンスサイクルの信頼性を引継ぎつつ静音性を向上 外観デザインを一新! NeoDry-Gシリーズ

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  • 走査電子顕微鏡
  • 電子顕微鏡

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17年連続受賞!半導体製造プロセス用に新しく開発したダイヤフラムバルブ!

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  • その他半導体製造装置
  • 真空機器

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地中外壁用防水スリーブ「パイプ・イン・スリーブ」(略称PIS) 施工現場 省力化! 建築物防水性能 健全化!

  • 配管材
  • 管継手
  • シール・密封

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地中外壁用防水スリーブ「パイプ・イン・スリーブ」(略称PIS) 施工現場 省力化! 建築物防水性能 健全化!

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真空包装マシン向け設計で省エネ性を最大化。従来比30%の電力削減を実現

  • 真空ポンプ

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片側アクセス設計で保守が容易。生産ラインのダウンタイムを最小化

  • 真空ポンプ

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高速真空包装ライン対応、省エネと衛生管理を両立した最新ポンプ

  • 真空ポンプ

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ボトリングライン対応、省エネ性能と衛生管理を両立した設計

  • 真空ポンプ

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通気性、耐水性、撥油性に優れたePTFE膜を使用。センサーや電子機器部品用の通気フィルタ「SBF」

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  • その他フィルタ
  • フィルタ
  • シール・密封

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お手持ちのロータリーエバポレーターを機能アップ!当社のVRセットをご紹介

  • 真空機器
  • 濃縮装置

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低摩擦でスティックスリップが無くスムーズな作動が可能。耐摩耗性と耐圧性に優れる独自材質によって長寿命化が図れる回転シール!

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  • 油圧機器
  • シール・密封

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クリーンで高品質な真空を【デモ機】で是非お試しください。

  • 真空ポンプ

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リーク性能が2ケタ向上!スクロール真空ポンプ「ISP-250E」が新発売 ※デモ機貸出し中!

  • 真空ポンプ

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メンテナンスの手間を格段に低減!ライフサイクルコスト削減にも貢献いたします。

  • 真空ポンプ

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大排気量なのに低消費電力!オイルフリー設計で運転音も静か。デモ機貸出中!

  • 真空ポンプ

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圧縮空気・真空源・食液の吹付けをクリーンに!コスト削減、省人化も

  • 真空ポンプ

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弾性を持つメタルシールです!溝、RF/FF、T&G、NW/KF、3端面接触型、ICF/コンフラット、異形、矩形にも対応!

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  • シール・密封

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非常に優れた許容漏れ量と耐食性!ばね入りCリング・メタルシール『ヘリコフレックスシール』

『HELICOFLEXヘリコフレックスシール』は、フランス原子力庁(CEA)と共同で開発された、弾性を持つばね入りCリング・メタルシールです。 本製品の驚くべきパフォーマンスは、原子力、航空宇宙、高真空分野、石油精製/化学、ガスやその他一般産業等の市場において長年の研究開発、 実験や実用における結果です。 柔軟な設計対応で、お客様のご用途に沿うシール特性にカスタマイズした製品を提供します。 【特長】 ■シール径φ4~8000mm ■10^-10mbarから3000barまでの圧力に対応 ■-272℃から800℃までの温度に対応 ■発泡液レベルから超高真空レベルも対応する許容漏れ量 ■すべてのフランジ規格とフランジ面に対応(PNEUROP、ASME、ISO、JIS等) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

既設のボルトのサイズ・数は変更不要?半導体製造装置で『真空のゴムOリング ガス透過やガス放出を無くしたい』などお困りの方必見!

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  • シール・密封
  • CVD装置
  • 電子ビーム描画装置

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『真空のゴムOリング ガス透過やガス放出を無くしたい』なら、ばね入りCリングへ置換!『デルタベータHNRV』

デルタベータHNRVは元々設計締付圧力(Y)が低いヘリコフレックスデルタシールと内部ばねの特殊加工の組合せで、ゴムO-RINGからの置換と性能向上を実現します。 「真空のゴムO-RINGガス透過やガス放出を無くしたい」「既設フランジのボルト数やサイズ変更が出来ない」等、そんな悩みをお持ちの方に奨めるメタルシールです。 【特長】 ■主に超高真空用 ■従来より更に低い設計締付圧力 ■エラストマー製Oリングとの交換が可能 ■断面の接触側に2つのデルタ形突起がある 既設のフランジに対して使用出来ることを保証するものではありません。 既設フランジ仕様のご提供が必要です。 ※詳しくはPDFダウンロードまたはお気軽にお問い合わせください。

UHP/UHV、超高純度、超高真空、極低温向け高度メタルシーリングソリューション

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  • シール・密封
  • CVD装置
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シール、ハンドリング、またはロックが必要な場面でご使用頂ける膨張シール。真空0.133Pa~高圧、設計温度は-60℃~+220℃

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  • シール・密封
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  • 真空機器

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膨張インフレータブルシール『CEFIL'AIR(R)セフィリア』

『インフレータブルシール』は、空気圧等で膨張・収縮する製品です。 頻繁にシールが必要な箇所へ好適構造で安全。 自社製エラストマーで断面形状や材質も豊富にご用意しております。 高い設計自由度のため、様々な断面形状で小型、大型いずれも製作可能です。 詳細は、下記関連製品、関連カタログをご覧ください。

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