真空機器の製品一覧
- 分類：真空機器
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！
- その他搬送機械
狭い作業スペースや、市販のスパナレンチやモンキレンチでも配管作業可能！締込みキズを最小限に抑える利便性の高いねじ継手。
- 管継手
- 配管材
- バルブ
最高使用温度900℃！排気マニホールドや排ガス用途に好適なシートガスケット材！厚さ0.1mmのSUS316の爪付鋼板を挿入！
- シール・密封
高機能・高品質なマグネトロンスパッタカソード！ 販売・修理/メンテも対応可能
- スパッタリング装置
- 真空機器
- その他金属材料
スパッタカソード サービスセンター開設いたしました
2024年４月より、アメリカオングストローム・サイエンス社製「マグネトロンスパッタカソード」の点検・修理のサービスセンターを開設いたします。 新たなサービスセンターにはクリーンルーム設備をはじめ、真空リークチェッカー、各種検査機器を常備して万全な体制でのメンテナンスを実施いたします。 すべての作業はAngstromeScience社での研修を修了した有資格者が指導・監修し、アメリカ本国の修理と同様のサービスを提供いたします。 これまでは、故障に伴う修理を中心に対応をいたしておりましたが、サービスセンター開設を機に定期メンテナンスをお引き受けすることができるようになりました。 定期的にカソードの点検を行って、ダウンタイム無しでの運用をサポートいたします。
PSA・VSA濃縮装置の効率的な運用を支えるコンパクト設計。現場での据付から日々のデータ監視までスムーズな管理を実現します。
- 真空ポンプ
断面や径は特注対応可能！トライボロジー特性に優れた耐摩耗コーティングができます
- シール・密封
- その他機械要素
キャニスター用金属シール。樹脂製やエラストマー製のシール材質が使えない物質に朗報！メタルシールを採用しヘリウムリークタイトを実現
- シール・密封
- 化学薬品
- その他半導体製造装置
非常に優れた許容漏れ量と耐食性！お客様の用途に沿うシール特性にカスタマイズした製品を提供します
- シール・密封
ばね入りCリング等メタルシールの選定で重要な点をご紹介します！＜資料進呈中＞
ばね入りCリング・メタルシールHELICOFLEXⓇヘリコフレックスシールや メタル中空Oリング等のシール製品の高機能シールメーカーが メタルシールを機能させる重要な点や、設計者側の要点などをご紹介します。 メタルシールの選定は、対となるフランジ類の設計が重要です。 フランジやボルト材質、締付荷重(締付時の最小必要ボルト荷重)、 圧力、温度、ボルトの締結方法等がメタルシール圧縮不足の発生と関係します。 ※詳しい内容は、関連カタログよりダウンロードくださいませ。
UHP/UHV、超高純度、超高真空、極低温向け高度メタルシーリングソリューション
- シール・密封
- CVD装置
- エッチング装置
『真空のゴムOリング ガス透過やガス放出を無くしたい』低締付メタルガスケット デルタベータHNRVなら可能です。
- シール・密封
- CVD装置
『真空のゴムOリング ガス透過やガス放出を無くしたい』なら、ばね入りCリングへ置換！『デルタベータHNRV』
デルタベータHNRVは元々設計締付力(Y)が低いヘリコフレックスデルタシールと内部ばねの特殊加工の組合せで、ゴムO-RINGからの置換と性能向上を実現します。 「真空のゴムO-RINGガス透過やガス放出を無くしたい」「既設フランジのボルト数やサイズ変更が出来ない」等、そんな悩みをお持ちの方に奨めるメタルシールです。 【特長】 ■主に超高真空用 ■従来より更に低い設計締付力 ■エラストマー製Oリングとの交換が可能 ■断面の接触側に2つのデルタ形突起がある 既設のフランジに対して使用出来ることを保証するものではありません。 既設フランジ仕様のご提供が必要です。 ※詳しくはPDFダウンロードまたはお気軽にお問い合わせください。
PVD/CVD/エッチング装置等で、ゴムOリングからメタルへ置換え、超高真空・極高真空を実現します！JIS V溝フランジ用標準化
- シール・密封
- CVD装置
- エッチング装置
【JIS V溝フランジ用標準化済み】半導体分野向け低設計締付力Y『超高真空用デルタシール』
デルタシール(HNV HELICOFLEX(R)DELTA) には、断面の接触側に2つのデルタ形突起があります。 デルタ形突起は、フランジ溝組込時に外被の圧縮時につぶれて消えるように設計されており、 デルタシールの設計締付力は、ヘリコフレックスシールに比べて低い為、エラストマー製Oリングとの交換が可能になります。 漏れ量：*円形の場合10⁻¹²Pa・m³/sec.(10⁻¹¹atm.cm³/sec.) *取付側の品質に依存します。 【特長】 ■断面の接触側に2つのデルタ形突起がある ■超高真空が実現する ■優れた弾性を有し、高温で使用可能 ■エラストマー製Oリングとの交換が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
SOFC・固体酸化物形燃料電池セルスタック水素漏洩対策用のCリングをご紹介します。
- シール・密封
- その他機械要素
ヘリコフレックスのYを低減！加圧・高温下でも機能を損ないません！
- シール・密封
- その他機械要素
既設のボルトのサイズ・数は変更不要？半導体製造装置で『真空のゴムOリング ガス透過やガス放出を無くしたい』などお困りの方必見！
- シール・密封
- CVD装置
- 電子ビーム描画装置
『真空のゴムOリング ガス透過やガス放出を無くしたい』なら、ばね入りCリングへ置換！『デルタベータHNRV』
デルタベータHNRVは元々設計締付力(Y)が低いヘリコフレックスデルタシールと内部ばねの特殊加工の組合せで、ゴムO-RINGからの置換と性能向上を実現します。 「真空のゴムO-RINGガス透過やガス放出を無くしたい」「既設フランジのボルト数やサイズ変更が出来ない」等、そんな悩みをお持ちの方に奨めるメタルシールです。 【特長】 ■主に超高真空用 ■従来より更に低い設計締付力 ■エラストマー製Oリングとの交換が可能 ■断面の接触側に2つのデルタ形突起がある 既設のフランジに対して使用出来ることを保証するものではありません。 既設フランジ仕様のご提供が必要です。 ※詳しくはPDFダウンロードまたはお気軽にお問い合わせください。
加速器をはじめ、航空宇宙、核融合炉など過酷な環境で使用されています！
- シール・密封
- その他機械要素
ばね入りCリング等メタルシールの選定で重要な点をご紹介します！＜資料進呈中＞
ばね入りCリング・メタルシールHELICOFLEXⓇヘリコフレックスシールや メタル中空Oリング等のシール製品の高機能シールメーカーが メタルシールを機能させる重要な点や、設計者側の要点などをご紹介します。 メタルシールの選定は、対となるフランジ類の設計が重要です。 フランジやボルト材質、締付荷重(締付時の最小必要ボルト荷重)、 圧力、温度、ボルトの締結方法等がメタルシール圧縮不足の発生と関係します。 ※詳しい内容は、関連カタログよりダウンロードくださいませ。
高圧・高温用途メタル中空Oリング。設計締付力を考慮した断面径と肉厚！基本形と高圧用バランス形をご用意しております
- シール・密封
ばね入りCリング等メタルシールの選定で重要な点をご紹介します！＜資料進呈中＞
ばね入りCリング・メタルシールHELICOFLEXⓇヘリコフレックスシールや メタル中空Oリング等のシール製品の高機能シールメーカーが メタルシールを機能させる重要な点や、設計者側の要点などをご紹介します。 メタルシールの選定は、対となるフランジ類の設計が重要です。 フランジやボルト材質、締付荷重(締付時の最小必要ボルト荷重)、 圧力、温度、ボルトの締結方法等がメタルシール圧縮不足の発生と関係します。 ※詳しい内容は、関連カタログよりダウンロードくださいませ。
従来のヘリコフレックスにTEXEAL(R)(特許取得済みのテクスチャー加工)を施すことでシール性能を向上！締付力も下がります！
- 加工受託
- シール・密封
従来のヘリコフレックス×TEXEAL(R)でシール性能を向上！低設計締付力ばね入りCリング『テクスシール』をご紹介
特許取得済みのテクスチャー加工を施した『HELICOFLEX TEXEAL』は、低設計締付力(低Y) により メンテナンス時の負担軽減に寄与し、永きに渡るシール知見が生んだ革新的な技術です。 幅広い寸法で対応可能なほか、設計段階で取り込むことで、設備全体のコストを削減。 ライフサイクル・コストを減少し、締付トルクを上げる事なく、シール性能を向上させます。 【特長】 ■用途によっては再使用が出来る可能性があります。 ■設計段階で取り込むことで、設備全体コストを削減 ■ボルト本数が減ることで、メンテナンス負担軽減 ■MTBF (平均稼働時間) (平均故障時間) ■LCC (ライフサイクル・コスト)減少 ■締付トルクを上げる事なく、シール性能を最適化 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ばね入りCリング等メタルシールの選定で重要な点をご紹介します！＜資料進呈中＞
ばね入りCリング・メタルシールHELICOFLEXⓇヘリコフレックスシールや メタル中空Oリング等のシール製品の高機能シールメーカーが メタルシールを機能させる重要な点や、設計者側の要点などをご紹介します。 メタルシールの選定は、対となるフランジ類の設計が重要です。 フランジやボルト材質、締付荷重(締付時の最小必要ボルト荷重)、 圧力、温度、ボルトの締結方法等がメタルシール圧縮不足の発生と関係します。 ※詳しい内容は、関連カタログよりダウンロードくださいませ。
