真空機器の製品一覧
- 分類：真空機器
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キャニスター用金属シール。樹脂製やエラストマー製のシール材質が使えない物質に朗報！メタルシールを採用しヘリウムリークタイトを実現
- シール・密封
- 化学薬品
- その他半導体製造装置
PVD/CVD/エッチング装置等で、ゴムOリングからメタルへ置換え、超高真空・極高真空を実現します！JIS V溝フランジ用標準化
- シール・密封
- CVD装置
- エッチング装置
【JIS V溝フランジ用標準化済み】半導体分野向け低設計締付圧力Y『超高真空用デルタシール』
デルタシール(HNV HELICOFLEX(R)DELTA) には、断面の接触側に2つのデルタ形突起があります。 デルタ形突起は、フランジ溝組込時に外被の圧縮時につぶれて消えるように設計されており、 デルタシールの設計締付圧力は、ヘリコフレックスシールに比べて低い為、エラストマー製Oリングとの交換が可能になります。 漏れ量：*円形の場合10⁻¹²Pa・m³/sec.(10⁻¹¹atm.cm³/sec.) *取付側の品質に依存します。 【特長】 ■断面の接触側に2つのデルタ形突起がある ■超高真空が実現する ■優れた弾性を有し、高温で使用可能 ■エラストマー製Oリングとの交換が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
◆FOOMA JAPAN 2025 に出展: 省エネ30％の真空ポンプ実機を展示◆
日本ブッシュは「FOOMA JAPAN 2025」に出展し、環境配慮型の真空ポンプをご紹介します。包装、成形、ピック＆プレースなど、食品業界の幅広い用途で導入されている当社のソリューションを、是非この機会にご覧ください。 みどころ ● 世界で300万台稼働中の真空ポンプ「R5」ファミリーから、最新シリーズを実機展示。消費電力を最大30％削減（従来比）。 ● 超軽量！21kg、可搬性に優れたリークディテクターの実演。 ご来場特典 ● 省エネ試算：今お使いの真空機器との電力比較の試算をいたします。 ● 評価用真空ポンプ無料貸し出しの受付け：評価機で省エネを実感してください。
定期メンテナンスは6年に一度のロングライフを実現！トータルコストの低減を追求した、空冷式ドライ真空ポンプ！
- その他実験器具・容器
- その他ポンプ
- 真空ポンプ
メンテナンスサイクルの信頼性を引継ぎつつ静音性を向上 外観デザインを一新！ NeoDry-Gシリーズ
- 真空ポンプ
- 走査電子顕微鏡
- 電子顕微鏡
通気性、耐水性、撥油性に優れたePTFE膜を使用。センサーや電子機器部品用の通気フィルタ「SBF」
- その他フィルタ
- フィルタ
- シール・密封
低摩擦でスティックスリップが無くスムーズな作動が可能。耐摩耗性と耐圧性に優れる独自材質によって長寿命化が図れる回転シール！
- ジョイント
- 油圧機器
- シール・密封
弾性を持つメタルシールです！溝、RF／FF、T&G、NW/KF、3端面接触型、ICF/コンフラット、異形、矩形にも対応！
- シール・密封
ばね入りCリング等メタルシールの選定で重要な点をご紹介します！＜資料進呈中＞
ばね入りCリング・メタルシールHELICOFLEXⓇヘリコフレックスシールや メタル中空Oリング等のシール製品の高機能シールメーカーが メタルシールを機能させる重要な点や、設計者側の要点などをご紹介します。 メタルシールの選定は、対となるフランジ類の設計が重要です。 フランジやボルト材質、締付荷重(締付時の最小必要ボルト荷重)、 圧力、温度、ボルトの締結方法等がメタルシール圧縮不足の発生と関係します。 ※詳しい内容は、関連カタログよりダウンロードくださいませ。
既設のボルトのサイズ・数は変更不要？半導体製造装置で『真空のゴムOリング ガス透過やガス放出を無くしたい』などお困りの方必見！
- シール・密封
- CVD装置
- 電子ビーム描画装置
『真空のゴムOリング ガス透過やガス放出を無くしたい』なら、ばね入りCリングへ置換！『デルタベータHNRV』
デルタベータHNRVは元々設計締付圧力(Y)が低いヘリコフレックスデルタシールと内部ばねの特殊加工の組合せで、ゴムO-RINGからの置換と性能向上を実現します。 「真空のゴムO-RINGガス透過やガス放出を無くしたい」「既設フランジのボルト数やサイズ変更が出来ない」等、そんな悩みをお持ちの方に奨めるメタルシールです。 【特長】 ■主に超高真空用 ■従来より更に低い設計締付圧力 ■エラストマー製Oリングとの交換が可能 ■断面の接触側に2つのデルタ形突起がある 既設のフランジに対して使用出来ることを保証するものではありません。 既設フランジ仕様のご提供が必要です。 ※詳しくはPDFダウンロードまたはお気軽にお問い合わせください。
UHP/UHV、超高純度、超高真空、極低温向け高度メタルシーリングソリューション
- シール・密封
- CVD装置
- エッチング装置
正圧/負圧の切り替え、微調整バルブによる精密な設定が可能。シンプルで人間工学に基づき操作性が良く、小型軽量の空圧ポンプ
- 真空ポンプ
圧力入口と圧力出口もしくは真空口の2つからなり、圧力の微調整用に細かい調整が可能なアジャスター、供給圧力を表示する圧力計付き。
- 真空ポンプ
最大供給圧が120MPaでの圧力供給、圧力の微調整を可能としたスピンドルポンプ。自由に測定器の向きを変えることも可能です。
- 真空ポンプ
最大供給圧が160MPaで操作が良く、 測定器の位置合わせ可能な接続部機構、大量の試験対応のプライミングポンプを内蔵しています。
- 真空ポンプ
最大4,000barまでの圧力供給が可能なポンプで、圧力の微調整が可能で軽量かつコンパクトな設計の油圧式比較試験ポンプです。
- 真空ポンプ