半導体製造装置の製品一覧

  • 分類:半導体製造装置

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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!

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  • その他搬送機械

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室温から-13°Cの強冷風!ご使用環境によりコンボタイプかセパレートタイプを選択可能!

  • 冷却装置

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2024/4/10(水)~2024/4/12(金)名古屋 ものづくり ワールド 2024出展のご案内

三和式ベンチレーター株式会社は、ポートメッセなごやで開催される 2024ものつくりワールド(名古屋)に出店いたします。 弊社も大型冷風機、涼暖ビエントの展示をおこないます。 日時:2024/4/10~2024/4/12    開場:AM10:00~ 場所:名古屋ポートメッセ(第1展示会場) ※弊社ブース:19-1 お時間が御座いましたら、ご来場頂ければ幸いです。

各種抗菌/抗ウイルス加工、抗カビなど!繊維・フィルムへのスパッタ加工

  • スパッタリング装置

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各種材料、基材の加工実績が豊富!基材×薄膜=光学調整・導電・抗菌/ウイルス

  • スパッタリング装置

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多目的真空蒸着装置HEXシステム用RF&DCスパッタリングソース

  • スパッタリング装置

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【高拡張性&高メンテナンス性】コンパクトスパッタリング装置HEX-Fission【R&Dに最適!】

HEXシステムは、ミニマムな構成で導入し、研究の方向性の変化に応じて多目的に構成を変更可能な、最小設置面積60cm角のコンパクト真空装置です。ブロックを組み立てるような要領で、自分自身で簡単に構成変更や機能拡張を行うことができます。 『HEX-Fission』は多目的真空蒸着装置HEXシステムをベースにしたスパッタ装置です。スパッタリングソースFissionを搭載し、DCスパッタとRFスパッタの両方に対応します。最大で3台のスパッタソースで同時蒸着を行うことが可能です。 ◆標準仕様◆ ・多目的真空蒸着装置HEXシステム ・スパッタリングソースFission ・80L/sターボポンプおよびスクロールポンプ ・フルレンジ真空計 ・ビューポートパネル ・MFCコントローラー ・固定サンプルテーブル ・DC電源 ・膜厚計(QCM) ・マニュアル式シャッター ◆アップグレードオプション(例)◆ ・回転加熱サンプルテーブル ・RF電源 ・自動シャッター ・追加スパッタソースおよび電源 ※詳細についてはお気軽にお問い合わせください。

多目的真空蒸着装置HEXシステム用抵抗加熱蒸着源

  • スパッタリング装置

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【高拡張性&高メンテナンス性】コンパクトスパッタリング装置HEX-Fission【R&Dに最適!】

HEXシステムは、ミニマムな構成で導入し、研究の方向性の変化に応じて多目的に構成を変更可能な、最小設置面積60cm角のコンパクト真空装置です。ブロックを組み立てるような要領で、自分自身で簡単に構成変更や機能拡張を行うことができます。 『HEX-Fission』は多目的真空蒸着装置HEXシステムをベースにしたスパッタ装置です。スパッタリングソースFissionを搭載し、DCスパッタとRFスパッタの両方に対応します。最大で3台のスパッタソースで同時蒸着を行うことが可能です。 ◆標準仕様◆ ・多目的真空蒸着装置HEXシステム ・スパッタリングソースFission ・80L/sターボポンプおよびスクロールポンプ ・フルレンジ真空計 ・ビューポートパネル ・MFCコントローラー ・固定サンプルテーブル ・DC電源 ・膜厚計(QCM) ・マニュアル式シャッター ◆アップグレードオプション(例)◆ ・回転加熱サンプルテーブル ・RF電源 ・自動シャッター ・追加スパッタソースおよび電源 ※詳細についてはお気軽にお問い合わせください。

多目的真空蒸着装置HEXシステム用1源および4源電子ビーム蒸着源

  • スパッタリング装置

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【高拡張性&高メンテナンス性】コンパクトスパッタリング装置HEX-Fission【R&Dに最適!】

HEXシステムは、ミニマムな構成で導入し、研究の方向性の変化に応じて多目的に構成を変更可能な、最小設置面積60cm角のコンパクト真空装置です。ブロックを組み立てるような要領で、自分自身で簡単に構成変更や機能拡張を行うことができます。 『HEX-Fission』は多目的真空蒸着装置HEXシステムをベースにしたスパッタ装置です。スパッタリングソースFissionを搭載し、DCスパッタとRFスパッタの両方に対応します。最大で3台のスパッタソースで同時蒸着を行うことが可能です。 ◆標準仕様◆ ・多目的真空蒸着装置HEXシステム ・スパッタリングソースFission ・80L/sターボポンプおよびスクロールポンプ ・フルレンジ真空計 ・ビューポートパネル ・MFCコントローラー ・固定サンプルテーブル ・DC電源 ・膜厚計(QCM) ・マニュアル式シャッター ◆アップグレードオプション(例)◆ ・回転加熱サンプルテーブル ・RF電源 ・自動シャッター ・追加スパッタソースおよび電源 ※詳細についてはお気軽にお問い合わせください。

台湾製エンジニアリングプラスチックのファスナー等部品をお届けします。

  • その他半導体製造装置

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メタルコンタミフリーの誘電体ライニング!超高真空装置に対応できる小型ECR原子ビーム源

  • 電子ビーム描画装置

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使用温度が高く、非粘着性や耐薬品性が必要な部材に『導電性フッ素樹脂コーティング』

  • エッチング装置

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フッ素樹脂に導電性を付与したコーティングです。帯電を防止し、静電気によるトラブルを未然に防ぐことが出来ます。

  • エッチング装置

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  • エッチング装置

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放電操作が容易!RF電源にオートマッチングを採用したコンパクトな設計

  • スパッタリング装置

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初期導入コストを抑え、拡張で高性能化が可能!研究ステージに合せてグレードアップ

  • スパッタリング装置

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"半導体装置の高精度架台フレーム"、"超音波探傷装置の架台ベースフレーム"などを掲載!

  • 製造受託
  • その他受託サービス
  • その他半導体製造装置

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角パイプ同士を接合する箇所は、全周溶接にて強度を保つように加工を行っています!

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厚めの角パイプで製作!設置部は門型マシニングにより平面度0.1mm以内にて加工

  • 製造受託
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  • その他半導体製造装置

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