半導体製造装置の製品一覧

【アールエスコンポーネンツ】計測器、工具、受動部品など豊富な産業用製品のご購入は今がチャンス！※セール対象品カタログを無料進呈中

オシロスコープ

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揺動・振動式バタフライ弁『タッチレスバルブフィーダ』

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赤武エンジニアリング株式会社本社／工場

洗浄可能な、タッチレス(非接触)構造のバルブフィーダー！異物混入リスクを低減しました

フィーダー

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DCプローブ　　（電源用プローブ）

株式会社テクノプローブ

DCプローブ　　（電源用プローブ）

テスタ

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DCプローブ　Coax　　（電源用プローブ）

株式会社テクノプローブ

DCプローブ　Coax　　（電源用プローブ）

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プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』

キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80amu）かつ高感度で分圧測定を実現。

その他半導体製造装置

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固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』

均一性に優れた多層膜を形成できる！全自動多層膜形成装置

その他半導体製造装置

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ECRプラズマ成膜装置『AFTEX-6000シリーズ』

複数材料の多層膜が成膜可能！高品質・高結晶性の薄膜形成ができる成膜装置

その他半導体製造装置

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固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-9000シリーズ』

低温プロセス　高屈折率制御　高速反応性成膜　緻密・平坦膜

その他半導体製造装置

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原子層堆積装置『AFALD-8』

優れた段差被覆性と精密な膜厚制御！高品質な成膜が可能

その他機械要素
その他半導体製造装置

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固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-2300』

低温で高い結晶性薄膜を得ることが可能！価格を抑えたプラズマ成膜装置

その他半導体製造装置

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キャパシタンスゲージ『M-342DG』

キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

質量は200gと軽量でサイズもコンパクト！外部環境から受ける影響を最小限に抑えました

その他半導体製造装置

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中口径レンズ研磨機『SPS-50』

株式会社マブチ・エスアンドティー

対応径はφ5mm～φ50mm！小径から中径サイズの光学レンズ用研磨機をご紹介！

ウエハ加工/研磨装置

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レンズ研磨機『SPS-125』

株式会社マブチ・エスアンドティー

ドレッシング機能付き！対象ワークはφ10～125mmのレンズ研磨機！

ウエハ加工/研磨装置

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クリーンルーム対応5mm角ウエハ用小型ベルヌーイチャック

有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ばすことなく非接触でつかみ移載します。

ウエハー
CVD装置
ウエハ加工/研磨装置

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成膜システム

フォンアルデンヌジャパン株式会社

高生産性の成膜システムを提供しております

ウエハ加工/研磨装置
基板加工機
その他

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シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

株式会社ダン科学入間営業所

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の組合せにより量産から研究開発用途まで対応します。

その他半導体製造装置

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FOUP洗浄装置

株式会社ダン科学入間営業所