半導体製造装置の製品一覧

  • 分類:半導体製造装置

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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!

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  • その他搬送機械

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もう、重たい一斗缶を持ち上げる必要無し!セントラルキッチンの液体移送を快適に

  • その他 ポンプ

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『 第1回 中部食品産業創造展'26 』出展決定!

〈 ポートメッセなごや 〉にて、2026年11月4日(水)~6日(金)に開催されます、 【 第1回 中部食品産業創造展'26 】に出展いたします。 昨年4月より発売を開始していおります、『小型サニタリーハンディポンプMHS型』の 新たなラインナップとして、『コードレスサニタリーハンディポンプ』の展示をいたします。 ・コードレス!どこへでも持ち運べ!サッと使え!簡単洗浄!   従来通り18L缶やBIB(バックインボックス)に対応し、簡単に分解洗浄が可能な構造となっています。 この機会にぜひご来場いただきたくご案内申し上げます。 ・会場:ポートメッセなごや ・弊社出展ブース:第1展示館「C-66」

ICPパワーによるイオン密度の制御!低温成膜、低ダメージ、高コンフォマリティーを実現

  • CVD装置

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高選択性エッチング!ICPソースと基板電極間の間隔調整によるラジカル供給の最適化

  • その他半導体製造装置

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トップクラスのスループット!柔軟性のあるモジュール化されたデザイン

  • その他半導体製造装置

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量産に必要な多くの安全対策仕様!コンパクトな装置サイズで成膜温度50~285℃

  • その他半導体製造装置

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500℃ウエハステージ!プラズマダメージの無いリモートICPソース採用

  • その他半導体製造装置

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研究開発用、小規模バッチ用!簡易除害ユニットALD Shield Vapor Trap標準搭載

  • その他半導体製造装置

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基板バイアス機構!当社のマイクロウエーブPECVD/エッチング装置をご紹介

  • エッチング装置

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最大5(220mm径)又は4(300mm径)ターゲット搭載!イオンビームスパッタ装置をご紹介

  • スパッタリング装置

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最大200mm径基板!ダブルリングマグネトロン(Fraunhofer FEP)

  • スパッタリング装置

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メカニカルクランプ又は静電チャック対応!サブナノメーターエッチング機構

  • エッチング装置

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最大150又は200mmウエハ基板対応!エッチング角度及びステージ傾斜・回転機構

  • エッチング装置

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インターロックカバーもご用意!研磨作業の更なる効率化を実現しました

  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他加工機械

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研究開発用の試料作製に好適!振動と騒音を大幅に抑えることに成功しました

  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他加工機械

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主軸に高精度アンギュラベアリングを採用!基準テーブル上で±10μm以内の面振れ精度を実現

  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他加工機械

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真空チャック式ホルダーや貼付けホルダーなど、豊富なラインアップをご用意!

  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他加工機械
  • その他機械要素

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