半導体製造装置の製品一覧

電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました

• 電池・バッテリー
• 技術書・参考書
• 技術書・参考書

静電式により高い捕集率を実現。大型から小型まで豊富なラインアップを展開。水溶性オイルミストにも対応

• 空調

スリット塗布後に真空貼り合せまでを一連で行う装置

• その他組立機械
• ボンディング装置

平面だけでなく曲面にも対応したスリットコーター

• コーター

気泡の原因を元から除去！既存プロセスに後付けするだけで溶存酸素を10ppbレベルまでコントロール！

• その他半導体製造装置
• 水処理装置
• 脱気装置

RP3500SA　N2パージシステムスタンドアロン

• その他半導体製造装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓｉ系、メタル、有機膜、各種薄膜のダメージレスエッチング

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

板形状への精密研磨加工と成膜はぜひ当社へご相談ください！

• ウエハ加工/研磨装置
• 加工受託

時代はY2O3からYOFへ！エッチング装置のエージング時間を大幅短縮、パーティクル低減、装置稼働時間が大幅アップし、生産性向上！

• エッチング装置
• 加工受託
• 表面処理受託サービス

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性に優れる！独自のイオンアシスト蒸着法による酸化イットリウム

• 表面処理受託サービス
• エッチング装置
• 加工受託

イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が大幅アップ！ドライエッチング装置部品の保護膜・再生に最適！

• 表面処理受託サービス
• 加工受託
• エッチング装置

高精度研磨を実現！多段階ステップを有し、複雑な研磨レシピに対応可能

• ウエハ加工/研磨装置
• その他加工機械

据え置き型で高剛性ボディー！超精密な精度を維持し安定した加工が可能

• ウエハ加工/研磨装置
• その他加工機械

ワークの平行度向上！ウェーハの貼付時に混入した空気等を脱泡させることが可能

• ウエハ加工/研磨装置
• その他

φ8"～φ12"ウェーハに対応！CMP加工中にln-Situパッドコンディショニングが可能

• ウエハ加工/研磨装置
• その他加工機械

お客様毎のカスタマイズに対応！装置を収めた後でも、拡張機能が追加ができます

• ウエハ加工/研磨装置
• その他加工機械

均一冷却を実現する流路設計

• その他半導体製造装置
• 冷却装置