半導体製造装置の製品一覧
- 分類：半導体製造装置
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！
- その他搬送機械
微細加工などに好適！従来の工具では困難とされた穴のバリ取りと両面取りをワンパスで実現！
- その他工作機械
【2021年10月20日(水)～23日(土)】メカトロテックジャパン2021に出展します！
当社は、2021年10月20日(水)～23日(土)の4日間、ポートメッセなごやで 開催される「メカトロテックジャパン2021」に出展いたします。 小径0.8ｍｍからの面取りバリ取りが可能な工具『バーオフツール』や 折損を確実に検出する工具折損検出装置『FEM』をご紹介いたします。 皆様のご来場お待ちしております。（コマ番号：2B12）
コストパフォーマンスの高いレーザシステムです。 用途に合わせたビーム径、焦点距離等の光学系（オプション）の対応可能です。
- レーザ部品
- その他半導体製造装置
ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッチャー・アッシング装置・クリーナー(クリーニング装置)
- エッチング装置
- アッシング装置
- その他半導体製造装置
洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・ストリッパー(ストリッピング装置)
- オゾン発生装置
- アッシング装置
- その他半導体製造装置
加工精度は部分的に0.02～0.05の実現！また、NC旋盤6台・ロボット3台を保有。NC旋盤加工のことならご相談ください！
- 旋盤
- ウエハ加工/研磨装置
- 加工受託
