半導体製造装置の製品一覧

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• オシロスコープ

洗浄可能な、タッチレス(非接触)構造のバルブフィーダー！異物混入リスクを低減しました

• フィーダー

結晶欠陥測定装置　(光散乱断層撮影式)

• 半導体検査/試験装置
• その他電子計測器
• 分析機器・装置

インライン型ウェハー測定モジュール

• 半導体検査/試験装置
• その他電子計測器
• 分析機器・装置

JPV法により、非接触で、PNジャンクションのジャンクション・リーク、空乏層の容量評価、PN接合試料のシート抵抗を高速に測定！

• その他検査機器・装置
• 半導体検査/試験装置

世界唯一の分光エリプソメーター技術でのEP(光学式ポロシメーター）細孔率・細孔分布測定装置

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器
• 分析機器・装置

シリコンウェハー/ブロックのPN判定が瞬時に行えます

• 半導体検査/試験装置
• その他電子計測器
• 分析機器・装置

渦電流技術を用いて、非接触/非破壊にてシリコンインゴット/ブロックの抵抗を瞬時に測定

• 半導体検査/試験装置
• その他電子計測器
• 分析機器・装置

u-PCD法でのマッピング測定が可能であり、太陽電池、半導体のマーケットに非常に多くの実績があります

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器
• 分析機器・装置

単結晶シリコンブロック用ライフタイム測定装置

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器
• 分析機器・装置

ロールツーロール分光エリプソメータ

• 半導体検査/試験装置
• 距離関連測定器
• 分光分析装置

結晶欠陥分析装置(非接触、非破壊式)

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器
• 分析機器・装置

2流体でウェーハを徹底洗浄します。

• その他半導体製造装置

大阪半導体製造装置の精密部品　ステンレス加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】　

• その他半導体製造装置
• エッチング装置
• モールディング装置

半導体製造装置の旋盤加工品　A5052　丸【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置

ベトナム金属加工　アルミ加工　フライス加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• エッチング装置

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• CVD装置