半導体製造装置の製品一覧
- 分類:半導体製造装置
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- オシロスコープ
非球面レンズのDLC膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付加価値金型のリペアに必須のドライ除膜装置
- エッチング装置
- アッシング装置
- プラズマ表面処理装置
熱CVD装置の排気に実績多数。Cl系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩素系ガスへの対応を両立。ガス処理も併用する信頼のシステム
- 真空機器
- 真空ポンプ
- その他半導体製造装置
【無料デモ実施中!】誰でもカンタン均一に丸型面取りができ、高周波インバータ電源の使用で大幅にコスト削減を実現したベベラー
- ウエハ加工/研磨装置