半導体製造装置の製品一覧

アイソレーターをお持ちの方へ。高い薬品耐性と作業性を実現。低価格、短納期も実現可能なグローブボックス・アイソレーター用グローブ

• 作業用手袋

洗浄可能な、タッチレス(非接触)構造のバルブフィーダー！異物混入リスクを低減しました

• フィーダー

フラックスレスウェハバンプリフロー装置。微細バンプのリフローをウェットレスで実現　サンプルデモ対応　リフロー動画掲載

• その他半導体製造装置

ディスクリート素子から先端デバイスまで、Ｒ＆Ｄに量産に。コンパクト、ハイクオリティ、多用途対応のＣｔｏＣタイプスパッタリング装置

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置
• その他実装機械

サンプルテスト対応中　フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先端機能材料の開発～量産に対応。デモ機でプロセスサポート。

• その他加工機械
• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物半導体・ＭＥＭＳ。幅広い実績と充実のサポート。新タイプ登場

• アッシング装置
• エッチング装置
• プラズマ表面処理装置

ボイドレス半田付のスタンダード装置。車載用パワーデバイスモジュールを支える実績と信頼のハード＆ソフト

• リフロー装置
• アニール炉

組合せによる透湿防水等の機能の付加加工を行い、各種産業資材として提供！

• 蒸着装置
• その他高分子材料

エアー＆バキュームでクリーン環境へ！メタルマスクは機器に置くだけで簡単セット！

• その他半導体製造装置
• その他

20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド・ニッチプロセスへ個別対応のプロセス＆ハードウェア

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック

• その他半導体製造装置
• 空圧機器
• その他理化学機器

枚葉基板からRoll to Rollによるフレキシブル基板まで対応！レジスト残渣が残りません

• その他半導体製造装置
• その他表面処理装置
• 基板加工機

好適ノズル設計によりムラの無い処理が可能！液シミやムラ・サビの無い仕上がり！

• エッチング装置
• その他表面処理装置

温水でフラスコに入っている有機溶剤を蒸発させる装置の開発概要をご紹介します！

• 蒸着装置

バキュームエッチング技術により高精細なパターン処理を実現！面内バラツキ無く仕上がります

• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)
• 基板加工機
• エッチング装置

大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、豊富な経験と実績を柔軟なハード対応とサンプルテストで提供

• アニール炉
• 酸化/拡散装置
• 加熱装置

今回は鈑金製品加工について紹介します。 機械加工・溶接・塗装工程が必要な製品です

• その他加工機械
• その他半導体製造装置