半導体製造装置の製品一覧
- 分類：半導体製造装置
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！
- その他搬送機械
微細加工などに好適！従来の工具では困難とされた穴のバリ取りと両面取りをワンパスで実現！
- その他工作機械
【2021年10月20日(水)～23日(土)】メカトロテックジャパン2021に出展します！
当社は、2021年10月20日(水)～23日(土)の4日間、ポートメッセなごやで 開催される「メカトロテックジャパン2021」に出展いたします。 小径0.8ｍｍからの面取りバリ取りが可能な工具『バーオフツール』や 折損を確実に検出する工具折損検出装置『FEM』をご紹介いたします。 皆様のご来場お待ちしております。（コマ番号：2B12）
アルミ半導体装置部品加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】
- CVD装置
- エッチング装置
- その他半導体製造装置
ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向上させます。
- エッチング装置
- アッシング装置
- その他半導体製造装置
ウェハ製造プロセス・デバイス製造プロセスで用いられるセラミックス製品を豊富に掲載！
- セラミックス
- ウエハ加工/研磨装置
- その他機械要素
搬送速度は5.0m／min、材料幅は310mmまで対応！金属箔（ALなど）の表面をエッチング
- 乾燥機器
- その他表面処理装置
- エッチング装置
