半導体製造装置の製品一覧

電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました

• 電池・バッテリー
• 技術書・参考書
• 技術書・参考書

静電式により高い捕集率を実現。大型から小型まで豊富なラインアップを展開。水溶性オイルミストにも対応

• 空調

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや両面処理に、コンパクトタイプＣｔｏＣエッチング装置

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

弊社装置は(1)ＵＶ＋オゾンで空気・空間・表面殺菌、(2)オゾン水はウイルス対策の洗浄殺菌、スプレー噴霧等にも使用できます。

• 紫外線照射装置
• その他半導体製造装置
• その他加工機械

ハンディ・卓上・ユニット・LED・コンベア型まで、様々なご用途に対応できる充実のラインナップをご用意しています。

• 紫外線照射装置
• コーター
• 刻印機

両面成膜・端面成膜・コンパクト・大量バッチ処理。基板の自公転機構が蒸着面の制御を可能に。水晶振動子、薄膜抵抗に独自プロセスを提供

• 蒸着装置

極高真空を実現するオリジナル超精密鏡面加工技術

• ウエハ加工/研磨装置
• 加工受託
• 表面処理受託サービス

回路盤上の部品やパッドからハンダを簡単に外せる！わずかな使用量で吸取れます

• 加工治具
• その他半導体製造装置

特殊硝子加工の製作事例をご紹介！産業機械のタッチパネルから特殊硝子のケミカル強化まで硝子の事なら弊社にお任せ下さい！

• ガラス
• ウエハ加工/研磨装置
• 車体系部品

高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。 安定のハードと先進のソフトで次世代のＩＲコーティングを実現

• プラズマ表面処理装置
• プラズマ発生装置
• CVD装置

自社工場内で専任の職人による本格的バフ処理！一貫生産体制でお客様のご要望にお応えします

• 加工受託
• 製造受託
• ウエハ加工/研磨装置

耐プラズマ性に優れたイットリア（Ｙ２Ｏ３）膜をＰＶＤ法で形成。 新開発イオンプレーティング法で厚膜（１０μｍ）を実現

• その他工作機械
• その他加工機械
• その他半導体製造装置

緻密な酸化膜厚膜（～１０μｍ）を高速形成。新開発イオン化機構搭載　ＣＶＤ代替高密度イオンプレーティング装置

• プラズマ表面処理装置
• その他加工機械
• 蒸着装置

オーバーホール前、オーバーホール後

• その他搬送機械
• その他検査機器・装置
• 半導体検査/試験装置

熱い想いでアイデアを練る！更なる未来へとつないで、新たな伝統を刻んでいく

• 製造受託
• その他機械要素
• その他半導体製造装置

お客様の様々な仕様に応える製品をご提供します！

• その他搬送機械
• その他半導体製造装置

装置サイズを可能な限りコンパクト化！安定した成膜処理と低パーティクルを実現

• CVD装置