半導体製造装置の製品一覧
- 分類:半導体製造装置
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レーザ光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ(基準ウェーハ)との比較により直径を測定する装置です。
- 半導体検査/試験装置
- その他半導体製造装置