半導体製造装置の製品一覧

アイソレーターをお持ちの方へ。高い薬品耐性と作業性を実現。低価格、短納期も実現可能なグローブボックス・アイソレーター用グローブ

• 作業用手袋

洗浄可能な、タッチレス(非接触)構造のバルブフィーダー！異物混入リスクを低減しました

• フィーダー

各種成膜処理ができる半導体ウェハー・アドバンストパッケージング向け成膜プラットフォーム

• スパッタリング装置
• エッチング装置
• CVD装置

高速かつ柔軟性のある基板成膜用途向けの大量生産ソリューションを提供！

• スパッタリング装置
• エッチング装置

露光光源照度分布は±5％以内！デスクトップ型と自立型のモデルをラインアップ

• ウエハ加工/研磨装置

サイズは4inと8inをご用意！〇型□型試料に対応した高い汎用性を有しております

• その他半導体製造装置

SUS316などのステンレス材をCNC旋盤＋マシニングセンタにより同時加工。半導体製造向け高精度リング部品を製作

• その他半導体製造装置
• 加工受託

1000℃超でも安心。熱設計に好適な絶縁材。

• その他機械要素
• その他加工機械
• その他半導体製造装置

*フラグシップモデル　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　優れた安定性と作業時間の時短を徹底的に追求したハンドラ

• 半導体検査/試験装置
• 基板検査装置
• 試験機器・装置

半導体・医療機器分野に求められる高清浄度に対応。精密洗浄から包装・組立までを一貫してクリーン環境で行います。

• CVD装置
• スパッタリング装置
• レジスト装置

薬品での表面腐食による、金属組織検査用の前処理を行います。

• その他の各種サービス
• 加工受託
• エッチング装置

スラリー不使用　濾過水、純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨から洗浄まで行う研磨装置（エッジポリッシュ）

• その他半導体製造装置

柔軟性、コンパクトな設計、および低い投資コスト！少量生産に理想的な選択肢

• スパッタリング装置
• エッチング装置

試料マトリクス変化に対し、感度係数とスパッタリングレートを全深さで補正し、高精度・深さ方向プロファイル分析

• 受託解析
• 二次イオン質量分析装置
• イオン注入装置

業界で非常に低いRcのシステム設計と最高レベルのウェーハ間再現性！

• スパッタリング装置
• エッチング装置

PLP向けにより高い生産性！より多くのプロセス可能性。アドバンストパッケージング向けに最適

• スパッタリング装置
• エッチング装置

さまざまなチャンバーサイズやプロセス・自動化を選択可能なBAK蒸着プラットフォームをご紹介

• 蒸着装置