半導体製造装置の製品一覧

設計から製造、メンテナンスまで一貫対応いたします！

• 製造受託

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

プランゼーのタングステン・モリブデン材料を使用して製造された、最高品質真空蒸着ボートとフィラメント。

• 蒸着装置
• 非鉄金属

プランゼーのイオン注入用タングステン・モリブデン製品は、高い信頼性と迅速なサービスで多くの半導体製造メーカーに愛用されています。

• イオン注入装置

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータルサービスを提供。

• 工業炉
• アニール炉
• 加熱装置

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータルサービスを提供。

• 工業炉
• アニール炉
• 加熱装置

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータルサービスを提供。

• 工業炉
• アニール炉
• 加熱装置

プランゼーのタングステン・モリブデン材料を使用して製造された、最高品質真空蒸着ボートとフィラメント。

• 蒸着装置
• 非鉄金属

無脈動定量ポンプと安全弁がメタルフリーに！ 金属と反応したり腐食させる特殊液もおまかせ下さい！

• その他半導体製造装置
• 特殊ポンプ
• その他ポンプ

幅600mmまで対応！フィルムにスパッタにより成膜するウェブコーター

• 真空機器
• コーター

基板表面への高い密着性！優れた印刷が可能になる、はんだ印刷用マスク

• フォトマスク

現在のFOUPロードポートを8時間でN2パージ機能に改造できるキットを開発。3000台の納入実績があります。

• その他半導体製造装置
• 半導体検査/試験装置

・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリレスを実現

• その他半導体製造装置

15年以上の修理と製造経験のある技術者が動作確認し出荷しております。株式会社トリコ　修理事業拡大中！！

• その他半導体製造装置
• その他

CMPフィルター　プレウェット特許取得

• ＣＭＰ装置
• その他フィルタ

お客様の立場に立って、優れた製品、サービスを適正な価格で提供します。

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

半導体関連製品やクリーンルーム設備などの製品を紹介します。

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置
• その他クリーンルーム用機器・設備

真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。

• 真空機器
• スパッタリング装置
• 電源

純水1/4RC　圧縮空気1/4RC！薬液をスプレー塗布する装置

• レジスト装置

ドラフト構造でクリーンルーム仕様！エッチング処理やレジスト除去する装置

• エッチング装置

ラウンドスプレコーター

• その他塗装機械
• 乾燥機器
• その他半導体製造装置

株式会社コシブ精密　『薄膜製品』　総合カタログ

• その他半導体製造装置

お客様のニーズに合わせた種類・形状・サイズの蒸着材料をご提供しています。

• 蒸着装置

イオンソースを使用し、加工対象物にイオンビーム照射をし、ドライエッチングを行うイオンビームエッチング装置です。

• エッチング装置

シンプルな構造で低価格を実現。消費電力、設置スペース、GWPの低減にも成功しております。万が一のときには修理も行っています。

• 蒸着装置

各種消耗部品を取り扱っております。

• 蒸着装置

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性

• その他半導体製造装置

フォトマスクを洗浄する「マスク洗浄装置」などを紹介します。

• その他洗浄機
• コーター
• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)

全塗工工程が完全密閉状態で進む！最新鋭の技術を駆使したCEDコーター

• その他塗装機械
• コーター

WET10μm以下の薄膜塗工！複雑な任意パターン塗工が可能なコーター

• その他塗装機械
• コーター

優れた薄膜塗工性能！容易な操作で熟練オペレーターが不要のコーター

• その他塗装機械
• コーター

優れた薄膜塗工性能！高精度設計による優れた再現性のコーター

• その他塗装機械
• コーター

コンパクトな生産機としても機能！企業の研究・開発を支えるラボ塗工機

• その他塗装機械
• コーター

多段化したスロットル構造！単層～多層の同時塗工を実現するコーター

• その他塗装機械
• コーター

薄層塗工可能！低速～高速まで幅広い塗工速度範囲に対応するコーター

• その他塗装機械
• コーター

精密機械加工、自動省力化機器・各種治具の製造・組立等を行っています。

• 加工受託
• その他半導体製造装置
• その他産業用ロボット

大物アルミ砂型鋳造品です 一品からの製作可能

• 加工受託
• その他半導体製造装置
• アルミニウム

創造することに挑戦を続け常に進歩を追及し、環境対応型企業を目指します。

• その他搬送機械
• 食品搬送装置
• その他半導体製造装置

SMAPメディア専用ノズルの開発に成功！稼動ノズル式の鏡面研磨装置です。

• ウエハ加工/研磨装置

200mm対応，最大荷重100kNの高性能高荷重ウエハボンダー

• ボンディング装置
• ウエハ加工/研磨装置

試作～少量生産向け多機能卓上マウンター。 半田塗布・部品実装・加熱までを1台で対応。

• マウンター
• ボンディング装置

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動式のクラスター型成膜装置の完成形です。

• 蒸着装置
• 有機EL
• その他クリーンルーム用機器・設備

有機材料と金属材料が同部屋にて成膜可能なハイブリット型成膜装置です。有機材料及び金属材料の共蒸着が可能です。

• 蒸着装置
• 有機EL
• その他クリーンルーム用機器・設備

有機材料（有機EL、高蒸気圧材料）薄膜用に開発されたＫセルタイプの蒸着源です。

• 蒸着装置
• その他ヒータ
• 有機EL

モリブデンSPDカセットの性能劣化を合否判定します。

• その他安全機器
• テスタ
• カウンタ

チューブの接続には、治具・工具は不要です。

• その他半導体製造装置
• チューブ
• 空圧機器

豊富なサイズが低価格！お求めのサイズをぜひご確認ください

• エンジニアリングプラスチック
• その他の自動車部品
• ＣＭＰ装置