産業用ロボットの製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

アライナにバッファ機能を設け、ウェーハの入替を可能にしました。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

真空環境下におけるサセプタをグリップ方式で高速、高精度に位置決めが可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット