産業用ロボットの製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

パーツを組み合わせて、2m×4m級の大型パレットも製作可能。破損しても部分交換ができて経済的　※1枚から提供可能

• パレット

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

アライナにバッファ機能を設け、ウェーハの入替を可能にしました。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

真空環境下におけるサセプタをグリップ方式で高速、高精度に位置決めが可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

ベルヌーイ方式によりウェーハのダメージを最小限に抑えたアライメント可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット

エッジグリップ方式を採用しウェーハへの接触を最小限にすることが可能

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他産業用ロボット