洗浄機の製品一覧
- 分類:洗浄機
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電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました
- 電池・バッテリー
- 技術書・参考書
- 技術書・参考書
簡易洗浄ユニットは、最大7インチマスクサイズまで対応できる簡易洗浄ユニットです。
- その他半導体製造装置
- フォトマスク
- その他洗浄機
スモールサイズからラージサイズまで、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で実施!
- その他半導体製造装置
- フォトマスク
- その他洗浄機
【大手メーカーで全自動フォトマスク洗浄装置の導入が増加しています!】
"マスク洗浄といえばテクノビジョン" を合言葉にこれからも業界一、世界一を 目指して参ります。 台湾、中国、日本でLEDの生産が活発になり、それに伴いフォトマスク洗浄装置の受注が大手メーカーより相次いでいます。 テクノビジョンでは従来から培ってきたスクラブ洗浄術に加え、新たに薬液洗浄技術の開発に取り組んでまいりました。 ◆スクラブ洗浄:主にパーティクルの除去 ◆薬液洗浄:マスクに付着したレジストを除去 LED生産においては素子パターンのデザインルールL/Sが、サブミクロン領域には至っていないため、露光プロセスにはプロキシミティーまたはコンタクトアライナーが使用されます。 このため、マスク汚染に対してはレジスト除去とパーティクル除去機能をもった 洗浄装置が必要となります。 某大手LEDメーカーではマスク洗浄が月間5000枚以上に達し、有害薬液などの保護対策が必要とされています。 テクノビジョンの全自動マスク洗浄装置は、このような量産工場で対応できる、 安全かつ環境にやさしい唯一のコンパクト、スモールフットプリント洗浄装置です。 ◆詳しくはお問い合わせください。