金属材料の製品一覧
- 分類：金属材料
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電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました
- 電池・バッテリー
- 技術書・参考書
- 技術書・参考書
ヒートシンクやウォータージャケットよりも、省エネ・省スペースが可能な 高性能ヒートシンクユニット
- その他金属材料
- その他電子部品
「SEMICON Japan 2023」に出展します
当社は、2023年12月13日（水）～12月15日（金）に開催される「SEMICON Japan 2023」に出展いたします。 是非とも当社ブースにお立ち寄りください。 皆様のご来場を心よりお待ち申し上げております。 【出展製品】 ◎熱源に合わせてカスタマイズ 高い冷却性能「高性能ヒートシンク」 ◎加熱したい部分に密着 省エネに貢献「ステンレス繊維シート＆フレキシブルヒーター」 ◎高精度チラー・温湿調器の温度変動を最小化「超高精度温度安定化ユニット」 ◎キュア工程での加圧フリー「熱伝導接着シート」
ステンレス繊維シートを使用した面状ヒータです。加熱したい部分に密着し、効率的な伝熱が可能です。
- ステンレス
TOMOEGAWAの通気性ヒーターがニコンの半導体露光装置に採用 ― 精密な温度制御を実現―
株式会社巴川コーポレーションが開発した通気性ヒーター部品「iCas MCT」が、株式会社ニコンの半導体露光装置に採用されました。本装置は、2026年12月より販売される予定です。 半導体露光装置には、複雑かつ微細な電子回路パターンをシリコンウェハ上に高い精度で形成すると同時に、生産性やエネルギー効率の向上に貢献する技術が求められます。わずかな温度変動でもパターンの精度に影響を及ぼすため、露光装置内部はmK（ミリケルビン）単位の高精度かつ高速な温度制御が不可欠です。 通気性ヒーター部品「iCas MCT」は、半導体露光装置に今回初めて採用されました。 「iCas MCT」は、紙状・多孔質構造の「ステンレス繊維シート」を発熱体として用いたヒーター部品です。ヒーター部品自体に通気性を持たせ、加熱面に対して垂直方向に空気を通過させ効果的に加熱することで熱容量を抑えつつ、高い温度応答性および昇温性能を実現。また、部品の小型化・軽量化ならびに半導体露光装置の高性能化に貢献しています。
