その他研磨材の製品一覧

  • 分類:その他研磨材

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JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案!デモキット無料貸出。

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  • その他安全・衛生用品

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  • その他エネルギー機器

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単結晶ダイヤモンドパウダー

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爆轟ナノダイヤモンドパウダー ククラスターダイヤモンドパウダー

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単結晶ダイヤモンドスラリー&RCDダイヤモンドスラリー

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多結晶ダイヤモンドスラリー

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RCDダイヤモンドパウダー 類多結晶ダイヤモンドパウダー

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Qual Diamond社の「高圧高温多結晶ダイヤモンドスラリー」は、水性製剤です。

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サイズはサブミクロンから1 0μmまであります。シリコンチップ、光学デバイス、金属加工品などの異種材料に使用しています。

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高圧高温単結晶ダイヤモンドスラリーは、水性製剤です。水性液に高圧高温単結晶ダイヤモンド粒子を分散させたスラリー

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QPD とQPH はポリマイクロダイヤモンドパウダーで、QPD は爆発法で作られ、QPH は高温高圧で作られています。

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独自の表面処理を施したラウンド モノマイクロ パウダーです。球状のQMR合成ダイヤモンドは、表面が粗く、純度が高い。

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高圧高温合成法で作られたモノマイクロパウダーで、硬度と結晶構造の特徴から、さまざまな素材の切断、ラッピング、研磨に人気の素材です

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マイクロダイヤモンドパウダーは、高度な選別および表面改質プロセスにより、均一なサイズ、高純度のダイヤモンド粒子で構成

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当社では様々な材質や素材を使ったバフを製造しております。「用途に合ったバフが見つからない」といったお悩みを解決!

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長年、鋳造関係のお客様に販売してきた自信の高品質・低価格。 海外からの月に数コンテナの定期便・大阪の倉庫に多数在庫あり。

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  • その他加工機械
  • エンジン系部品

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様々な用途にバランスよく対応する不織布ベースの研磨パッド

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  • ウエハ加工/研磨装置
  • 手研磨・ヤスリ

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パッド溝加工によるスラリー拡散.JPG

【技術情報】CMP研磨パッドの溝加工 2

前回、研磨パッド表面の溝加工によってスラリーの拡散が変わることをご説明しました。 溝によるスラリーの拡散効果を可視的に検証した事例をご紹介します。 半導体用などでデファクトスタンダートとなっている研磨パッド「IC1000」に異なる溝加工を6種類サンプルとして準備。 ・Circular Groove(同心円溝) ・Perforated Groove(貫通穴溝) ・Radial Groove(放射溝) ・Spiral Groove(螺旋溝) ・XY Groove(XY溝) ・Acr Groove(円弧溝) 青色に着色した液体を同条件下で滴下すると、溝加工によって液体の拡散が異なることがよく分かります。同心円溝や螺旋溝はスラリーの保持性が高く、放射溝や円弧溝はスラリーの排出性が優れることが確認できます。 このように同じ研磨パッドでも溝加工によってスラリーの拡散が異なり、ウェーハなどワークに介入するスラリーの作用に影響しますので、溝加工の選定は大変重要です。 当社ではお客様でのプロセス条件やターゲットを考慮して、溝加工の選定のお手伝いもさせて頂きますので、ぜひご相談下さい。

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