その他研磨材の製品一覧
- 分類:その他研磨材
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電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました
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精密なコーティング技術及び高度な樹脂接着技術で、精選された砥粒を摩擦に強い布に塗布した高品質なクリーニングテープです。
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切れ味を戻したい!精度を上げたい!などのお悩みを再研磨で解決!最短2日で仕上げることも可能!当社が再研磨を行った製作事例をご紹介
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【技術情報】CMP研磨パッドの溝加工 2
前回、研磨パッド表面の溝加工によってスラリーの拡散が変わることをご説明しました。 溝によるスラリーの拡散効果を可視的に検証した事例をご紹介します。 半導体用などでデファクトスタンダートとなっている研磨パッド「IC1000」に異なる溝加工を6種類サンプルとして準備。 ・Circular Groove(同心円溝) ・Perforated Groove(貫通穴溝) ・Radial Groove(放射溝) ・Spiral Groove(螺旋溝) ・XY Groove(XY溝) ・Acr Groove(円弧溝) 青色に着色した液体を同条件下で滴下すると、溝加工によって液体の拡散が異なることがよく分かります。同心円溝や螺旋溝はスラリーの保持性が高く、放射溝や円弧溝はスラリーの排出性が優れることが確認できます。 このように同じ研磨パッドでも溝加工によってスラリーの拡散が異なり、ウェーハなどワークに介入するスラリーの作用に影響しますので、溝加工の選定は大変重要です。 当社ではお客様でのプロセス条件やターゲットを考慮して、溝加工の選定のお手伝いもさせて頂きますので、ぜひご相談下さい。
サイズはサブミクロンから1 0μmまであります。シリコンチップ、光学デバイス、金属加工品などの異種材料に使用しています。
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高圧高温単結晶ダイヤモンドスラリーは、水性製剤です。水性液に高圧高温単結晶ダイヤモンド粒子を分散させたスラリー
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QPD とQPH はポリマイクロダイヤモンドパウダーで、QPD は爆発法で作られ、QPH は高温高圧で作られています。
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独自の表面処理を施したラウンド モノマイクロ パウダーです。球状のQMR合成ダイヤモンドは、表面が粗く、純度が高い。
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