真空機器の製品一覧
- 分類:真空機器
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当社独自の自己温度補正方式(米国、日本特許)のセンサを採用した高性能デジタルマスフローコントローラです
- 配管材
- 真空機器
- 流量制御
多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローコントローラMC-3000L seriesの高温対応モデルです
- 配管材
- 真空機器
- 流量制御
分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備えたマスフローコントローラ。半導体製造コストの改善に貢献。
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