真空ポンプの製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

センサ

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直径３０ｍｍ程度～8インチまで対応可能　高抵抗FZウエハ

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株式会社エナテック東京本社

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

その他半導体
加工受託
ウエハー

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オイルフリー真空ポンプ KCPシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。新開発高効率ロータを使用(非接触・ブレードレス)、先進性能を搭載したベーシックモデル。

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オイルフリー真空ポンプ KCPHシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。到達圧力100Pa以下に対応。

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オイルフリー真空ポンプ KCM310

オリオン機械/真空ポンプ。真空度100kPa対応。制御盤・インバータをワンパッケージ化したモータ出力5.5kW仕様。受注生産品。

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オイルフリー真空ポンプ KCM620

オリオン機械/真空ポンプ。業界初のモジュールデザインを採用。省エネ性能が更に進化した高真空・大流量モジュールマルチモデル。

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オイルフリー真空ポンプ KCP100

1シリンダ仕様でバキューム・ブロワの両方を使用可能

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オイルフリー真空ポンプ/KCP150・KCE190

バキューム・ブロワを組み合わせてパッケージ化

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小型ドライ真空ポンプ KM

オリオン機械/真空ポンプ。精密空調機サイド調整不要のフリーロータ方式を採用。

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小型標準ドライ真空ポンプ KRFシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。安心設計・環境対応・長寿命を実現。環境対応次世代ポンプ。

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標準型ドライ真空ポンプ KRFシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。安全設計・低運転音・長寿命を実現。環境対応次世代ポンプ。

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大型標準ドライ真空ポンプ KRFシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。安心設計・低運転音を実現。環境対応次世代ポンプ。

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コンビネーション型ドライ真空ポンプ CBFシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。安全設計・低運転音・長寿命を実現。環境対応次世代ポンプ。

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コンビネーション型ドライ真空ポンプ CBXシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。2シリンダー2機能(真空ポンプ・ブロワ並列)方式。

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コンビネーションパッケージ型ドライ真空ポンプ CBXPシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。パッケージシリーズ化による品揃えを充実。真空・ブロワ、真空・真空、ブロワ・ブロワ等の各種組合せ。

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高真空型ドライ真空ポンプ KHAシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。到達圧力(8kPa以下)での連続運転可能。

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高真空型ドライ真空ポンプ KHH