真空ポンプの製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

• その他半導体
• 加工受託
• ウエハー

ポンプの振動値を1nm以下に抑えた低振動ポンプ。防振ダンパーを装着すると更に1桁低減(0.1nm)！

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

超高真空仕様ターボ分子ポンプ

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

大流量 排気・低振動に対応したターボ分子ポンプ

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

放射線環境下で使用するために開発されたターボ分子ポンプ！

• その他ポンプ
• 真空機器
• 真空ポンプ

ユーザーの柔軟性を備え、世界中どこででも一貫した性能を。

• 真空ポンプ

海外でも多くの導入実績がある真空ポンプと真空ソリューションの組み合わせにて、要求の厳しい化学プロセス用途に対応いたします。

• その他ポンプ
• 真空ポンプ
• 容積型ポンプ

リチウム電池の製造工程に関係する真空ソリューションをご紹介いたします。

• 真空ポンプ
• その他ポンプ
• 容積型ポンプ

エドワーズは、真空蒸着、スパッタリング、CVD、プラズマ重合等、多くの薄膜工程で豊富な経験がございます。

• その他ポンプ
• 真空ポンプ
• 容積型ポンプ

世界でも多くの導入実績があるエドワーズの水封式ポンプをご紹介いたします。

• 容積型ポンプ
• その他ポンプ
• 真空ポンプ

液漏れの心配なし！通常点検は、地上部にあるモーターやベアリングの確認のみでOK

• 特殊ポンプ
• 真空ポンプ
• その他ポンプ

鉄鋼の脱ガス工程に関連する真空ソリューションをご紹介しています。

• 真空ポンプ
• 容積型ポンプ
• その他ポンプ

ユーザー様の用途に合わせて選択できる油回転式真空ポンプ！

• 真空ポンプ

真空或いはコンプレッサーとして使用いただけます！

• 真空ポンプ

世界の様々な用途でその価値を証明しているMils社製油回転式真空ポンプ！

• 真空ポンプ