真空ポンプの製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

• その他半導体
• 加工受託
• ウエハー

オイルフリー、コンパクトデザイン、ハイパフォーマンスを実現したドライポンプ

• 真空ポンプ
• 真空機器
• その他ポンプ

全翼回転翼を搭載した超高真空対応。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用。

• 真空ポンプ
• ターボ型ポンプ
• 真空機器

半導体プロセスでの経験と実績を基に、最新のテクノロジーを搭載した、工業用ドライポンプ。

• 真空ポンプ
• 真空機器
• その他ポンプ

種類が豊富で頑丈！低振動・低ノイズ！卓越した到達真空度を実現！

• 真空ポンプ
• 真空機器
• その他ポンプ

磁気軸受け制御方式採用！省スペース、低振動を実現したコントロールユニット一体型。

• 真空ポンプ
• ターボ型ポンプ
• 真空機器

軽量！コンパクト！ドライ仕様の丈夫な高真空排気システム

• 真空ポンプ
• 換気・排気

長時間の安定稼働、ハイドロカーボンを使用しないクリーンな排気。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用に最適。

• 真空ポンプ
• ターボ型ポンプ
• 真空機器

オイルフリー・メンテナンスフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。

• 真空ポンプ
• ターボ型ポンプ
• 真空機器

オイルフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。

• 真空ポンプ
• 真空機器
• ターボ型ポンプ

オイルフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。

• 真空ポンプ
• ターボ型ポンプ
• 真空機器

軽量！コンパクト！ドライ仕様の丈夫な高真空排気システム

• 真空ポンプ
• ターボ型ポンプ
• 真空機器

軽量！コンパクト！ドライ仕様の丈夫な高真空排気システム

• 真空ポンプ
• ターボ型ポンプ
• 真空機器

業界トップクラスの基本性能

• 真空ポンプ
• 真空機器
• その他ポンプ

業界トップクラスの基本性能

• 真空ポンプ
• 真空機器
• その他ポンプ

ご要望に合わせた加工・改造、新規タンクの製作などを承っております！

• タンク
• その他ポンプ
• 真空ポンプ