真空ポンプの製品一覧

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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!

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台湾製真空ポンプは真空・排気とも油分を一切含みませんので作業環境および製品が油で汚染される心配はありません。

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1ユニット幅10mmのPiabのコンパクトポンプシリーズに、新たにCOMPACT10E が加わりました。

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"粗引きポンプから超高真空用ポンプまで、オーバーホール 致します。"

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大排気量・高真空用の真空ポンプのご紹介です。

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ポンプで節電、高真空装置の設置場所を静かで快適な環境に

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"ランニングコストを従来の半分以下に抑えました。 また、特許構造により、水蒸気の処理も可能になりました。"

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オイルフリー、コンパクトデザイン、ハイパフォーマンスを実現したドライポンプ

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全翼回転翼を搭載した超高真空対応。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用。

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半導体プロセスでの経験と実績を基に、最新のテクノロジーを搭載した、工業用ドライポンプ。

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種類が豊富で頑丈!低振動・低ノイズ!卓越した到達真空度を実現!

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磁気軸受け制御方式採用!省スペース、低振動を実現したコントロールユニット一体型。

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軽量!コンパクト!ドライ仕様の丈夫な高真空排気システム

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長時間の安定稼働、ハイドロカーボンを使用しないクリーンな排気。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用に最適。

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オイルフリー・メンテナンスフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。

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業界トップクラスの基本性能

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ご要望に合わせた加工・改造、新規タンクの製作などを承っております!

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オイルの逆流防止&低振動・低ノイズ!加圧給油方式採用で、大気圧から高真空までの運転がスムーズです。

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高性能・高耐久・省エネ性能!ものづくり分野から環境分野まで広くお客様に貢献するTAIKOエアポンプ。

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低速・高バランスロータで低騒音な「MDP-Vシリーズ」などを掲載しています!

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真空ポンプの種類や大晃メカニカルブースタの特長などを写真や図と共に掲載!

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ポンプ内部構造やクリーニング運転手順をまとめた技術資料を進呈しています!

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当社社内で実際に蒸気を吸引させた試験結果に基づいた内容を掲載しています!

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CE認証を持つ信頼性と安全性が特長のオイルロータリーポンプ

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真空ポンプの特長や機能など掲載しております

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脈動の少ない空気として真空用・ブロワー用での利用可能!

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給油の必要が無い無給油式ドライタイプでメンテナンスフリーの真空ポンプ・ブロワー

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UHVシステムへのサンプル挿入の手間のかかる待ち時間短縮が可能なデバイス!

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通いケースの為、修理も可能なプラダンケースです。

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熱CVD装置の排気に実績多数。Cl系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩素系ガスへの対応を両立。ガス処理も併用する信頼のシステム

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  • 真空ポンプ
  • その他半導体製造装置

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