アニール炉の製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

• その他半導体
• 加工受託
• ウエハー

大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、豊富な経験と実績を柔軟なハード対応とサンプルテストで提供

• アニール炉
• 酸化/拡散装置
• 加熱装置

熱源はSiCヒーターを採用！高いクリーン性能を実現した高純度アニール炉

• アニール炉

ウェハプロセス対応　本格量産システム　アニール・シンター・ポリイミドキュア　ミニバッチ＋急速冷却機構でハイスループット対応　

• アニール炉

耐熱性が低い基板でもダメージなく、表面部だけを乾燥、焼成する光焼成装置！

• 乾燥機器
• その他表面処理装置
• アニール炉

真空・不活性ガス雰囲気下で研究・実験できる卓上型電気炉です。 サンプルステージは操作性に優れた昇降式でサンプル交換が容易です。

• アニール炉

ニーズに合わせたラインアップ！成膜装置や、ランプ加熱によるアニール装置

• アニール炉
• その他半導体製造装置

電子・半導体業界用！1枚のウェハー製造用ヒーターモジュール

• その他ヒータ
• CVD装置
• アニール炉

スーパータル　HT （高温用半円筒型、最高炉内温度1675℃）

• その他ヒータ
• 電気炉
• アニール炉

スーパータル　半円筒（ハーフシリンダー）型

• その他ヒータ
• 電気炉
• アニール炉

発熱体最高使用温度：1550℃！モジュールヒーター

• その他ヒータ
• 電気炉
• アニール炉

研究所や電子産業に最適！クリーンプロセスでの高温発熱体

• その他ヒータ
• 電気炉
• アニール炉

Class 1のクリーンな環境で複数枚のウェハを加熱処理 最大450℃ 高い温度安定性

• 加熱装置
• アニール炉

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータルサービスを提供。

• 工業炉
• アニール炉
• 加熱装置

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータルサービスを提供。

• 工業炉
• アニール炉
• 加熱装置

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータルサービスを提供。

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