ステッパーの製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式

• スパッタリング装置
• コーター
• ステッパー

平板ガラス基板の上に薄膜をコーティングする装備

• スパッタリング装置
• コーター
• ステッパー

Flexible Display用など機能性Film製造用Coating装備

• スパッタリング装置
• コーター
• ステッパー

CCDカメラによる画像処理自動整合システムを搭載

• ステッパー

全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップ

• ステッパー

両面アライメントと、プロキシミティおよびソフトコンタクト露光が可能

• ステッパー

光源と光学系技術の開発・応用力の粋を集めた各種ランプのご案内です。

• ステッパー
• ランプ・発光素子
• その他光学部品

フレキシブルプリント基板（FPC）の回路形成を行うための装置

• ステッパー

搬送系はローラコンベア方式でインラインとして利用可能！

• ステッパー

フレネルレンズを搭載した高精度露光装置です。

• ステッパー

平行光露光装置のラインナップのご案内です。

• ステッパー

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

• レジスト装置
• ステッパー
• その他半導体製造装置

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

• レジスト装置
• ステッパー
• その他半導体製造装置

高濾過精度

• CVD装置
• ステッパー
• ガスフィルタ

半導体製造装置の技術サービスはお任せ下さい。

• コーター
• CVD装置
• ステッパー