エッチング装置の製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

• その他半導体
• 加工受託
• ウエハー

ベトナム金属加工　アルミ加工　フライス加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• エッチング装置

微細加工

• エッチング装置

非球面レンズのＤＬＣ膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付加価値金型のリペアに必須のドライ除膜装置

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

高精度かつ高信頼性の酸化膜微細加工！プロセスガスからラジカルを選択的に生成

• エッチング装置

コンパクトなバッチタイプでサブミクロンのエッチングに対応、サンプルテスト対応によるプロセスサポートが特徴のプラズマエッチング装置

• エッチング装置
• その他理化学機器
• プラズマ発生装置

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物半導体・ＭＥＭＳ。幅広い実績と充実のサポート。新タイプ登場

• アッシング装置
• エッチング装置
• プラズマ表面処理装置

好適ノズル設計によりムラの無い処理が可能！液シミやムラ・サビの無い仕上がり！

• エッチング装置
• その他表面処理装置

バキュームエッチング技術により高精細なパターン処理を実現！面内バラツキ無く仕上がります

• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)
• 基板加工機
• エッチング装置

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや両面処理に、コンパクトタイプＣｔｏＣエッチング装置

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

接液部がPFA樹脂製で温調レスポンスが良い薬液インラインヒーター

• エッチング装置
• その他半導体製造装置

シェル＆チューブ　ラウンドタイプPVC製シェル

• 熱交換器
• エッチング装置
• ウエハ加工/研磨装置

投げ込みタイプ

• 熱交換器
• エッチング装置

シリンダヒーター

• その他ヒータ
• 加熱装置
• エッチング装置

ECV型フッ素樹脂製薬液ヒーター

• その他ヒータ
• 加熱装置
• エッチング装置

薬液ヒーター　フランジタイプ

• 加熱装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置