エッチング装置の製品一覧
- 分類：エッチング装置
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電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました
- 電池・バッテリー
- 技術書・参考書
- 技術書・参考書
ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイプエッチング装置。 半導体製造装置部品・材料にも対応
- エッチング装置
- プラズマ表面処理装置
Y5O4 F7膜は表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージング時間を大幅に短縮できます。透過率特性も優れています。
- 表面処理受託サービス
- エッチング装置
- 加工受託
一般的なイオン交換型金属除去膜から半導体アプリケーションに特化した金属除去膜まで幅広いラインナップ。
- レジスト装置
- エッチング装置
低振動・低騒音ペルチェチラー『ThermoRack401』
『ThermoRack401』は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに好適です。 冷却能力400Wの当製品は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持。 駆動部はわずか2か所でささやきのような静粛性・無振動を実現し、先進的光学・ レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応可能です。 コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもち、世界中の 電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。 詳しくは、下記の関連製品ページまたはPDF資料をご覧ください。
従来のフォトリソグラフィーと比較して、研究開発から量産用途まで扱いやすく高い生産性を実現するソリューションです
- エッチング装置
シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓｉ系、メタル、有機膜、各種薄膜のダメージレスエッチング
- エッチング装置
- アッシング装置
- プラズマ表面処理装置
時代はY2O3からYOFへ！エッチング装置のエージング時間を大幅短縮、パーティクル低減、装置稼働時間が大幅アップし、生産性向上！
- エッチング装置
- 加工受託
- 表面処理受託サービス