エッチング装置の製品一覧
- 分類：エッチング装置
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！
- その他搬送機械
Y5O4 F7膜は表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージング時間を大幅に短縮できます。透過率特性も優れています。
- 表面処理受託サービス
- エッチング装置
- 加工受託
一般的なイオン交換型金属除去膜から半導体アプリケーションに特化した金属除去膜まで幅広いラインナップ。
- レジスト装置
- エッチング装置
低振動・低騒音ペルチェチラー『ThermoRack401』
『ThermoRack401』は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに好適です。 冷却能力400Wの当製品は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持。 駆動部はわずか2か所でささやきのような静粛性・無振動を実現し、先進的光学・ レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応可能です。 コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもち、世界中の 電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。 詳しくは、下記の関連製品ページまたはPDF資料をご覧ください。
従来のフォトリソグラフィーと比較して、研究開発から量産用途まで扱いやすく高い生産性を実現するソリューションです
- エッチング装置
シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓｉ系、メタル、有機膜、各種薄膜のダメージレスエッチング
- エッチング装置
- アッシング装置
- プラズマ表面処理装置
時代はY2O3からYOFへ！エッチング装置のエージング時間を大幅短縮、パーティクル低減、装置稼働時間が大幅アップし、生産性向上！
- エッチング装置
- 加工受託
- 表面処理受託サービス
溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性に優れる！独自のイオンアシスト蒸着法による酸化イットリウム
- 表面処理受託サービス
- エッチング装置
- 加工受託
イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が大幅アップ！ドライエッチング装置部品の保護膜・再生に最適！
- 表面処理受託サービス
- 加工受託
- エッチング装置
