イオン注入装置の製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

• その他半導体
• 加工受託
• ウエハー

高平坦度・高位置精度のキャリア

• 半導体検査/試験装置
• イオン注入装置

切削加工/金属加工

• エッチング装置
• イオン注入装置
• アッシング装置

CNC旋盤加工・アルミ精密切削・半導体製造装置部品【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• スパッタリング装置
• CVD装置
• イオン注入装置

単品・小ロット・旋盤加工・精密切削【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• イオン注入装置
• ＣＭＰ装置
• その他半導体製造装置

アルミ精密部品　半導体製造装置　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• 半導体検査/試験装置
• イオン注入装置
• ＣＭＰ装置

半導体製造装置のアルミ精密部品　大阪　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• スパッタリング装置
• イオン注入装置
• 蒸着装置

高純度を要求される半導体製造工程でのイオン注入には多数のカーボンが使用されます。その高純度カーボンのご紹介です。

• ファインセラミックス
• イオン注入装置
• CVD装置

イオン注入・分析のよくあるご質問をQ&A形式でご紹介しています

• ウエハー
• イオン注入装置
• その他受託サービス

半導体から医療まで様々な製品への注入が可能！ Si,SiC,GaN等に好適！

• ウエハー
• イオン注入装置

高品質、低価格

• CVD装置
• イオン注入装置
• その他半導体製造装置

高品質なディスク再生を低価格にてご提供するサービス

• イオン注入装置

パルスパワーの出力リターン線に、栗田製作所は銅平板をご提案させていただきます。　

• CVD装置
• イオン注入装置
• 電源

生産機としても使用でき、多くのユーザー様で採用されております。

• プラズマ表面処理装置
• イオン注入装置

真空管での安定放電を実現

• プラズマ発生装置
• イオン注入装置
• 電源

安定放電が可能な真空管を利用したパルス電源です。

• プラズマ発生装置
• イオン注入装置
• 電源