アッシング装置の製品一覧

電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました

• 電池・バッテリー
• 技術書・参考書
• 技術書・参考書

静電式により高い捕集率を実現。大型から小型まで豊富なラインアップを展開。水溶性オイルミストにも対応

• 空調

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッチャー・アッシング装置・クリーナー(クリーニング装置)

• エッチング装置
• アッシング装置
• その他半導体製造装置

洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・ストリッパー(ストリッピング装置)

• オゾン発生装置
• アッシング装置
• その他半導体製造装置

自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成の実績豊富な各タイプ　眞空プラズマの高い効果を量産ラインに

• プラズマ表面処理装置
• エッチング装置
• アッシング装置

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向上させます。

• エッチング装置
• アッシング装置
• その他半導体製造装置

非球面レンズのＤＬＣ膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付加価値金型のリペアに必須のドライ除膜装置

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物半導体・ＭＥＭＳ。幅広い実績と充実のサポート。新タイプ登場

• アッシング装置
• エッチング装置
• プラズマ表面処理装置

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや両面処理に、コンパクトタイプＣｔｏＣエッチング装置

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

ダメージレス、ハイレート、大面積対応、イオンダメージを完全除去、完全ラジカル処理を実現。高性能プラズマアッシング装置

• アッシング装置

「プラミ-α」は小型で、使いやすい大気圧プラズマ発生装置です。 いつでも！　どこでも！　簡単に表面改質や活性化に使用できます。

• プラズマ表面処理装置
• アッシング装置
• その他

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』

• ＣＭＰ装置
• アッシング装置
• イオン注入装置

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』

• ＣＭＰ装置
• アッシング装置
• イオン注入装置

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』

• ＣＭＰ装置
• アッシング装置
• イオン注入装置

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』

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瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』

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瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』

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