蒸着装置の製品一覧

ハンドルから手を離すと、自動で閉止（開放）。閉め忘れや誤作業を確実に防止。危険物を取扱う工場での安全管理にばっちりです！

• バルブ

働き方改革関連法に伴う規制の適用により、物流業界が直面している課題や解決策を掲載。荷役・輸送方法の見直しをしませんか？

• パレット
• パレット
• コンテナ

原料（粉末）から最終製品まで一貫生産。ずば抜けて高機能な材料を提供可能

• 蒸着装置
• 非鉄金属

【※全185種をラインナップ・在庫！】長時間の蒸着でもフィルム汚染が起こらない！高品質な薄膜形成ができる蒸着ボート

• 蒸着装置
• 非鉄金属

気化した金属をプラスチック製品の表面に付着（メッキ）させる成膜技術です

• 加工受託
• 蒸着装置

「過酷な環境下の使用」にも耐えるLEMOコネクタ。その信頼と実績により数多くのモデルが『半導体製造装置』に使用されています！

• 丸型コネクタ
• 真空機器
• 蒸着装置

ふだんの暮らしに生きている蒸着製品

• 蒸着装置
• 加工受託

アルミの1/5の超軽量！剛性を保ちつつ大幅な軽量化を実現するアルミハニカムパネル！寸法やロットによってはコストダウンも可能です！

• 蒸着装置
• 搬送・ハンドリングロボット
• アルミニウム

アルミハニカムパネルの無料サンプル&活用事例集を進呈中！同等の剛性でアルミ板の1/5、鋼板の1/10以下の重量を実現！

• 蒸着装置
• 搬送・ハンドリングロボット
• アルミニウム

ポリパラキシレン成膜に特化した装置です。メーカは35年以上、ヨーロッパでポリパラキシレン成膜及び装置販売を行ってきました。

• 蒸着装置

～亜鉛めっき・真空蒸着・UV塗装のご案内～

• めっき装置
• 蒸着装置
• 塗装機械

高温ワークを非接触にて移載するベルヌーイチャック

• 蒸着装置
• ウエハー
• その他産業用ロボット

化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を気体供給操作を行い、ウエハを非接触にて吸引し、所定の位置に脱着を行います。

• 蒸着装置
• その他理化学機器
• ウエハー

「貼り」を極めた、高精度な貼付装置を掲載しています

• その他加工機械
• 蒸着装置

卓上で簡単に使えるコンパクトな蒸着装置

• 蒸着装置

直線・回転運動、多軸複合運動を高精度伝達。蒸着セルなど各種導入機を多数収録

• 動力伝達機器
• 真空機器
• 蒸着装置

ミニチュアエバポレータ

• 蒸着装置
• 分析機器・装置
• 電子顕微鏡

低圧動作のECR型アトムソース

• エッチング装置
• 蒸着装置
• スパッタリング装置

真空蒸着装置とこれらに関連する機器メンテナンスサービスを行っております。

• 蒸着装置
• CVD装置
• スパッタリング装置

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデル

• 蒸着装置

最大1,000lpmまでの流量を確保

• CVD装置
• エッチング装置
• 蒸着装置

長時間の蒸着でもフィルム汚染が起こらない！高品質な薄膜形成ができる蒸着ボート

• 蒸着装置
• 非鉄金属

プランゼーのタングステン・モリブデン材料を使用して製造された、最高品質真空蒸着ボートとフィラメント。

• 蒸着装置
• 非鉄金属

プランゼーのタングステン・モリブデン材料を使用して製造された、最高品質真空蒸着ボートとフィラメント。

• 蒸着装置
• 非鉄金属

お客様のニーズに合わせた種類・形状・サイズの蒸着材料をご提供しています。

• 蒸着装置

シンプルな構造で低価格を実現。消費電力、設置スペース、GWPの低減にも成功しております。万が一のときには修理も行っています。

• 蒸着装置

各種消耗部品を取り扱っております。

• 蒸着装置

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動式のクラスター型成膜装置の完成形です。

• 蒸着装置
• 有機EL
• その他クリーンルーム用機器・設備

有機材料と金属材料が同部屋にて成膜可能なハイブリット型成膜装置です。有機材料及び金属材料の共蒸着が可能です。

• 蒸着装置
• 有機EL
• その他クリーンルーム用機器・設備

有機材料（有機EL、高蒸気圧材料）薄膜用に開発されたＫセルタイプの蒸着源です。

• 蒸着装置
• その他ヒータ
• 有機EL

低パーティクル仕様の超高性能光学薄膜用蒸着装置です。

• 真空機器
• 蒸着装置

LED 用光学多層 DBR 膜の成膜に最適！

• 蒸着装置

樹脂レンズへの成膜に最適！大量生産を高次元で実現する光学薄膜用蒸着装置です。

• 蒸着装置

同じ剛性でアルミ板の1/5、鋼板の1/10の超軽量化を実現し、コスト削減に貢献するアルミハニカムパネル！

• 蒸着装置
• 搬送・ハンドリングロボット
• アルミニウム

コンパクトなサイズ（１インチ〜２インチ）対応のMBE装置です。

• 真空機器
• 半導体検査/試験装置
• 蒸着装置

従来のアルミやステンレスの加工品の真空チャンバーと比較して、剛性を保ちながら大幅な軽量化と約20％のコストダウンを実現しました。

• 蒸着装置
• アルミニウム

高真空及び超高真空に対応可能の真空部品

• 真空機器
• スパッタリング装置
• 蒸着装置

【PREVAC社製】6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能です。6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単です！

• 蒸着装置
• コントローラ

配管部品は各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

• 真空機器
• CVD装置
• 蒸着装置

金属表面処理や真空蒸着加工、および塗装のことならお任せ下さい！

• 加工受託
• 製造受託
• 蒸着装置

金属ベローズは各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

• 真空機器
• CVD装置
• 蒸着装置

大口径シール

• CVD装置
• 蒸着装置
• その他半導体製造装置

有機EL用のインライン型の自動制御機能を盛り込んだ研究開発用装置です。

• 蒸着装置
• 有機EL
• その他クリーンルーム用機器・設備

製品多様真空部品-アダッブタシリーズ

• 真空機器
• スパッタリング装置
• 蒸着装置

10 -10torrの真空度も対応実績あり。お客様のご要望に沿った真空チャンバーを製造した豊富な経験があります。

• 真空機器
• 恒温槽
• 蒸着装置

手動及び自動シャッターは、純度の高いタンタルで製作！

• 蒸着装置

改善成功事例　事例2　金属蒸着セル　KMDW-Cell

• 蒸着装置