電子ビーム描画装置の製品一覧

ハンドルから手を離すと、自動で閉止（開放）。閉め忘れや誤作業を確実に防止。危険物を取扱う工場での安全管理にばっちりです！

• バルブ

働き方改革関連法に伴う規制の適用により、物流業界が直面している課題や解決策を掲載。荷役・輸送方法の見直しをしませんか？

• パレット
• パレット
• コンテナ

世界で初めて最小画素1μm（オプション：0.5um対応可能）の自由度の高いパターニングを実現！DMDを用いたマスクレス露光装置

• 3Ｄプリンタ
• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置

ハーメチックフィードスルー

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
• 分析機器・装置

真空非磁性 ＵＳＭ駆動ユニット＜特注＞

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
• 分析機器・装置

ファイバーレーザー溶接によるアルミ板金溶接

• 電子ビーム描画装置

高出力赤色半導体レーザーマーキング／品番 M1170NMSH-7LA

• 電子ビーム描画装置
• 刻印機
• レーザーマーカー

絶対圧、ゲージ圧、気圧を±０．０２％ＦＳで計測します。長期安定性に優れ高精度の圧力基準器として使用可能です。各種デジタル設定可能

• 電子ビーム描画装置
• 試験機器・装置
• 距離関連測定器

ＦＰＤのセルパネル欠陥に対し、ＩＴＯパターンをカットして修正可能。

• 電子ビーム描画装置
• レーザーマーカー
• その他加工機械

今までの露光装置とは生産性が違います！

• 電子ビーム描画装置
• その他半導体製造装置
• レジスト装置

表面処理装置　スパッタ用イオン銃

• スパッタリング装置
• 電子ビーム描画装置

表面処理装置　走査型イオン銃

• スパッタリング装置
• 電子ビーム描画装置

小型･高精度･低消費電流を誇り、水晶加工から一貫して生産することで お客様の要求にも細かく、短納期でお応えしております。

• 電子ビーム描画装置

5"6"9"マスクケース

• 電子ビーム描画装置
• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他光学部品

ＥＨ４３０Ｂ

• 半導体検査/試験装置
• 電子ビーム描画装置
• その他加工機械

移動距離数十ミリ程度の位置決めに適したボイスコイル型リニアモータ（ＶＣＭ）を高速移動と超精密位置決め用に開発しました。

• 電子ビーム描画装置
• サーボ
• トルク制御