半導体検査/試験装置の製品一覧

電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました

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• 技術書・参考書
• 技術書・参考書

静電式により高い捕集率を実現。大型から小型まで豊富なラインアップを展開。水溶性オイルミストにも対応

• 空調

五面五軸加工　半導体製造装置部品【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
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シリコンブロック内部異物検査装置

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• 分析機器・装置

薄膜太陽電池パネル測定装置

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• 分析機器・装置

結晶欠陥測定装置　(光散乱断層撮影式)

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インライン型ウェハー測定モジュール

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JPV法により、非接触で、PNジャンクションのジャンクション・リーク、空乏層の容量評価、PN接合試料のシート抵抗を高速に測定！

• その他検査機器・装置
• 半導体検査/試験装置

世界唯一の分光エリプソメーター技術でのEP(光学式ポロシメーター）細孔率・細孔分布測定装置

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• その他計測・記録・測定器
• 分析機器・装置

シリコンウェハー/ブロックのPN判定が瞬時に行えます

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• その他電子計測器
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渦電流技術を用いて、非接触/非破壊にてシリコンインゴット/ブロックの抵抗を瞬時に測定

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u-PCD法でのマッピング測定が可能であり、太陽電池、半導体のマーケットに非常に多くの実績があります

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単結晶シリコンブロック用ライフタイム測定装置

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ロールツーロール分光エリプソメータ

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• 距離関連測定器
• 分光分析装置

結晶欠陥分析装置(非接触、非破壊式)

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世界シェア25％を占める台湾総合電子計測器メーカーの業界別カタログ！

• 半導体検査/試験装置
• 電源装置

ナノパターンの高速・高精度計測が可能なフォトマスク用CD-SEM

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• その他機械要素