基板搬送装置(ローダ・アンローダ)の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

枚葉基板からRoll to Rollによるフレキシブル基板まで対応！レジスト倒れが発生しません

• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)
• 基板加工機

バキュームエッチング技術により高精細なパターン処理を実現！面内バラツキ無く仕上がります

• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)
• 基板加工機
• エッチング装置

有機アミン系剥離液にも対応可能！好適スプレー配列により、レジスト残渣が残りません

• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)
• 基板加工機

有底ビアや高アスペクトスルーホール内まで均一なめっき処理が可能！

• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)
• 基板加工機
• めっき装置

完全なスミア除去を実現！メンテナンス性を考慮した装置設計となっています

• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)
• 基板加工機
• めっき装置

独自のビジョンシステム搭載のランダムピッキング搬送システム

• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)

仕分け作業の効率化を図る！ソーティング技術を搭載した製品の導入事例をご紹介

• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)
• その他搬送機械

8インチウェハ対応！ウェハ中央部に接触することなく搬送できる装置をご紹介

• 製造受託
• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)

卓上タイプでコンパクト！既存の顕微鏡に自動搬送機能を追加できる装置をご紹介

• 製造受託
• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)

ウェハ表面のマクロ観察も可能！卓上型5、6インチウェハ対応顕微鏡ローダ装置

• その他検査機器・装置
• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)

2、3、4インチまでのそりの大きなGaAsや各種ウェハ対応！顕微鏡ローダ装置

• その他検査機器・装置
• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)

硬度の高い『HARDOX500（ハルドックス）』の加工品もRが緩ければ対応可能です！鋼板調達から加工までの一貫対応で短納期を実現

• その他金属材料
• 加工受託
• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)

シリコンウェハー搬送装置の受託開発事例をご紹介！

• 製造受託
• その他搬送機械
• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)

【特許取得済】小型（コントローラ内蔵）・高速（サイクルタイム0.8秒）・高精度を実現したピックアンドプレースユニット！

• その他搬送機械
• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)

５０μm超薄ガラス・超薄ウエハを非接触にて搬送するピンセット

• その他半導体製造装置
• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)
• その他組立機械